利用光聚合反应制作表面平整的聚合物光栅.pdfVIP

第 26 卷 　第 2 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol. 26 　No. 2 2005 年 2 月 　　 CHIN ESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 　　Feb. ,2005 利用光聚合反应制作表面平整的聚合物光栅 周进波 　孙长征 　熊 　兵 　王 　健 　罗 　毅 (清华大学集成光电子学国家重点实验室 , 北京　100084) 摘要 : 提出利用紫外光聚合反应来制作聚合物光栅的方法. 实验发现 ,光栅的表面起伏深度很小 , 约为 124 ～ 0 7nm ;折射率调制较大 ,达到 0 010 左右. 这种方法在低阶分布反馈聚合物激光器的制作中具有很好的应用前景. 关键词 : 光聚合反应 ; 聚合物光栅 ; 分布反馈 ; 聚合物激光器 PACC : 4240E ; 4260D ; 8235 　　　EEACC : 4320L 中图分类号: TN365 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : (2005) 米[12～14 ,18 ,19 ,21 ,22 ] ,甚至上百纳米[15～17 ,20 ] ,这将给 1 　引言 后部工艺带来一定的困难. 本文利用紫外光聚合反应来制作聚合物光栅. 有机半导体材料具有很多潜在的优势 , 比如成 光敏聚合物主要由聚合物粘合剂、液态单体和光引 本低廉、工艺简单、光致发光效率高、自吸收系数小 发剂组成. 在干涉曝光的条件下 , 单体发生聚合反 等[1 ,2 ] ,因此在光电子器件领域得到了广泛应用 ,如 应 ,并从非反应区向反应区迁移 ,粘合剂则从反应区 有机发光二极管[3 ,4 ] 、有机电光调制器[5 ] 、有机阵列 向非反应区迁移 ,最终形成材料的周期分布 ,从而得 波导光栅[6 ] 等. 近年来 , 光泵浦有机半导体激光器 到折射率调制. Monroe 等人[23 ,24 ] 采用一系列光敏 (organic semiconductor laser ,OSL ) 成为一个新的研 聚合物来制作全息衍射光栅 ,其折射率调制可以达 究热点. 制作 OSL 的难点之一是怎样形成高 Q 值 μ 到 001 左右. 但是他们只研究了周期为 1 m 左右 的谐振腔. 文献报道了各种结构的谐振腔[7 ,8 ] ,其中 的光栅. 为了考查这种聚合物光栅在 DFBOSL 制 ( ) 分布反馈 distributed feedback ,DFB 结构被认为最 作中的应用潜力 , 需要研究短周期光栅的特性. 另 有利于降低 OSL 的阈值[9 ] . 外 ,Monroe 等人所采用的光敏聚合物[23 ,24 ] ,其光引 ( ) 制作分布反馈有机半导体激光器 DFBOSL 发剂的最大吸收波长在 477nm 左右 ,对我们实验中 的方法有很多[10～22 ]