基于光声光谱法气体探测传声器的研究进展_刘小玲.pdfVIP

电 子 与 封 装 第1 1 卷第2期 电 子 与 封 装 第1 1 卷，第2 期 总 第94 期 Vol.11 ，N o .2 ELECTRONICS PACKAGING 20 1 1 年2 月 产 品 、 应 用 与 市 场 基于光声光谱法气体探测传声器的研究进展 刘小玲，罗荣辉，张 操，郭小伟 （郑州大学物理工程学院，郑州45000 1） 摘　要：光声光谱法气体探测技术具有灵敏度高、选择性高、不消耗被测量气体等优点，在现代 工农业、环境监测、生物技术等领域发挥着重要的作用。随着这些领域的发展，人们对气体探测 器的综合性能要求越来越高，因而光声气体探测器得到了良好的发展和应用。基于光声光谱法探 测气体是利用气体光声效应原理，其中传声器是气体探测系统的一个重要声电转换器件。文章介 绍了光声光谱法气体探测的基本原理，光声效应产生机理，阐述了电容式传声器、驻极体传声器 和悬臂式微传声器的研究进展及其与光声光谱法相结合在气体探测领域的应用现状。详细介绍了 几种传声器的优缺点，并展望了高灵敏微传声器的发展及其应用意义。 关键词：光声光谱；气体探测；硅微电容传声器；驻极体 中图分类号：TP2 12.1　 　　文献标识码：A　　　文章编号：1681-1070 （2011）02-0034-05 The Research Progress of Microphone based Photoacoustic Spectroscopy Gas Detection LIU Xiao-ling，LUO Rong-hui, ZHANG Cao, GUO Xiao-wei （School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001,China ） Abstract : Photoacoustic spectroscopy （PAS）has a lot of advantages,for example,high sensitivity,high selectivity,without the shortcoming of gas consumotion, and so on,thus it has important effections in modern industry and agriculture,environmental monitoring,biotechnology and other fields.The people has been ac- tively improving comprehensive performance of gas detectors with these developments in the fields.Thus, photoacoustic gas detectors get goog progress and application .Based on PAS gas detection is to use the principle of photoacoustic effect,microphone is an important acoustic-electric conversion device of the detect- ing system .The basic principles of microphone based photoacoustic spectroscopy （PAS）gas detection and photoacoustic effect of generating mechanism are reviewed. The development