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2015-09-27 发布于重庆
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基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置

第卷第期中国测试技术 34 2 Vol.34 No.2 年月 2008 3 CHINAMEASUREMENTTESTINGTECHNOLOGY Mar.2008 基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置汤昌社,潘嘉声,周建友,胡润洪 (广东省计量科学研究院,广东广州 ) 510405 摘要:为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对 CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(约 4000个)的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径。对平晶表面不同的检定点,测量软件均能根据其实测值计算平面度。改造后的干涉仪不但显著 D D 0 0 提高了工作效率,且大大降低了劳动强度。关键词:平晶; ;等倾干涉仪;最小二乘拟合;标准干涉环 CCD 中图分类号: ; 文献标识码: 文章编号: ( ) TH741.3TH821 A 1672-4984200802-0016-02 Flatnessmeasuringapparatusbasedonmachinevisionandisoclinicinterferometry , , , TANGChang-she PANJia-sheng ZHOUJian-you HURun-hong ( , , ) GuangdongInstituteofMetrologyGuangzhou510405China : Abstract Isoclinicinterferometerwasrebuiltwithmachinevisiontechnologytorealizefastflatnessmeasurementof opticalflat.InterferogramcapturedbyCCDwasreal-timelyprocessedwithcomputerandthenstandardinterference ( ringdiameterD wascalculatedthroughusingleastsquarefittingmethodbasedonallsamplepoints about4000 0 ) pixels.Flatnessofeveryverificationpointonopticalflatsurfacecouldbecalculatedwithreal-timeD calculated 0 throughthismeasuringsoftware.Therebuiltinterferometerimprovesworkingefficiencyapparentlyandreduces workloadgreatly. : KeywordsOpticalflat;CCD;Isoclinicinterferometer;Leastsquarefitting;Sta