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太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备

2010 2 Feb.,2010 31 2 Journal of Xiangfan University Vol.31 No.2 ( 441053) . . 40 80μm. TF12 A 1009-2854(2010)02-0079-03 . . . Si . [1]. . . . . . . . 1 1.1 UBE 250g/L . . (20℃30℃40℃50℃60℃80℃) 1. 72h 1500 ℃4h. 1 -1 / -1 / -1 / /(T* ℃ ) /(T* ℃ ) /(T* ℃ ) 1 20 3 9 40 3 17 60 3 2 20 5 10 40 5 18 60 5 3 20 8 11 40 8 19 60 8 4 20 10 12 40 10 20 60 10 5 30 3 13 50 3 21 80 3 6 30 5 14 50 5 22 80 5 7 30 8 15 50 8 23 80 8 8 30 10 16 50 10 24 80 10 2010-01-26 (1965 ), , , . 31 2 2010 2 1.2 SEM [2] [3] . 2. 2 0 1 5% / 2 5%15% / 3 15%35%

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