umsg107-1000w射频电源使用说明书(07修正版).docVIP

UMSG107-1000W型射频电源及匹配器 使 用 说 明 书 编 制：何 学 飞 审 核： 批 准： 2007年10月 UMSG107-1000W型射频电源及匹配器 使 用 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 二OO七年十月 UMSG107-1000W型射频电源 使用说明书 概述 UMSG107-1000W型射频电源包括射频源和射频匹配器。射频源采用石英晶体它激振荡电路产生13.56MHz的射频信号，功率推动级对该信号进行耦合放大推动输出级，功率输出级采用金属陶瓷四极管FU-100F，电子管板极供电采用电抗器调压，电子管与功率源输出电缆之间采用固定的L型匹配网络，确保电子管与电缆之间良好匹配。电缆与负载之间的匹配由可调式L型网络匹配器来实现，匹配状态由通过式功率计指示。本电源具有频率稳定性高、可靠性好、效率高、功率大、体积小、调节方便等特点。 使用环境与条件 电源：~220V/50Hz，＞1.5KVA 环境温度：5℃~40℃ 相对湿度：＜70％ 大气压强：86KPa~106KPa 具有独立的接地点，接地电阻＜4Ω 环境净化等级：优于10000级 主要技术性能 输出功率：100W~1000W逐级可调 频率：13560KHz 板极电压：300V~2500V 板极电流：＜0.5A 板极直流消耗功率：＜1.3kW 阻抗匹配范围：(2.7~45)Ω－j(0~70)Ω 具有手动调节网络参数达到匹配功能 网络参数由调谐Ⅰ，调谐Ⅱ的刻度直读 具有入射功率和反射功率指示 具有高压通断外控 使用与操作 检查 按装箱单检查包装箱内各构件、配件是否齐全 打开箱盖检查各构件及连接件是否紧固 如有疑问请与供方联系 安装 安装时注意轻拿轻放。 电源箱底部应有导轨，且应留有大于50mm的冷却风道。 接线 检查“预热”开关应处于释放状态。 按标识连接供电电源线、信号线、功率传输电缆线。外控插头：“高压”外控1，2脚接常闭触点“高压关”，3，4脚接常开触点“高压关”。 接线图如下： 注意：射频电缆的接头要拧紧，电缆弯曲尽量自然些。 操作程序 逆时针调板压电位器旋钮到最低位置（旋钮上的刻度线在左下方45°左右），功率计开关置于2KW档位。 插上电源插头，按下预热开关（橙色按钮），按钮里面的指示灯亮，同时板压开关（红色按钮）里面的指示灯也亮，预热5~10分钟。 按一下板压开关（绿色按钮），按钮里面的指示灯亮，同时红色按钮里面的指示灯灭，缓缓调节板压，板流，功率计也会有指示，然后反复调节匹配器调谐Ⅰ、调谐Ⅱ，直到反应室起辉。继续调节调谐Ⅰ、调谐Ⅱ，使反射功率减到最小。 调节板压到所需功率，注意随时调节调谐Ⅰ、调谐Ⅱ，使反射功率最小。 工作完毕后，板压调到最低，按一下板压开关红色按钮关断板压，5~10分钟后，再按一下橙色按钮关断灯丝。 联调 在确认射频源正常后，即可上机带真实负载进行调试。 第一次起辉时，将板压调到约为500V，如果没起辉，反射功率会很大，调节匹配器调谐Ⅰ、调谐Ⅱ使之起辉，暂不管反射功率有多大。如果不起辉，可降低真空度，真空度低些容易起辉。如还不起辉，可采取短时间加大功率的方法。比如板压加到700V，如果不起辉，马上把板压降一点，再调节调谐Ⅰ和调谐Ⅱ，再略加高板压，如此重复进行，直到起辉为此。即 调匹配器 升高板压 降低板压 调节匹配器要按一定规律进行，调谐Ⅰ可固定几点，比如200、300、500，调谐Ⅱ从小到大，或从大到小调节。 如果再不起辉，应检查反应室及接线部分是否有问题。 起辉后，调节匹配器的调谐Ⅰ、调谐Ⅱ使反射功率减至最小。 如果起辉时真空度较低，起辉后可逐渐提高真空度，同时跟踪调节匹配器使之匹配。 加功率 在起辉正常后，可提高功率，这里要注意的是，在初次起辉时，可能由于反应室或工作气体不干净，设计上欠合理等因素使反应室内打火，这种情况功率不能提高。 维护保养及注意事项 应建立随机档案，及时记录电源运行参数，掌握电源及负载的变化情况。做到有据可查。 定期清洁，检修。特别是接地电阻和绝缘电阻。 需要长时间待机时，应每周上电预热通风一小时以上。 避免在700W以上直接起动。且更换负载后应避免在300W以上直接起动。 电源正常工作时，板流不要超过0.5A，板压不要超过2500V。 避免在高反射功率状态下使用。 切勿在通电状态下开启机箱。 当出现异常响动时，应立即关高压，或降低板流板压。 电源一定要轻拿轻放，以免损坏电子管及其他元件。 建议用户最好配备一台高频（100MHz）示波器，以便维护用。 电源在托运发货时必须用牢固的木箱包装，里面用海绵或泡沫保护。 常见故障分析与排除 序号 故障现象 故障原因分析 排除方法 1 “预热”开不上电 保险管断 “预热”开关