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CHN薄膜的制备.pdf
第 卷第 期 原 子 能 科 学 技 术 !
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42P薄膜的制备
李常明!陈志梅!吴卫东!唐永建
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心!四川 绵阳 #
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摘要!文章简要描述了空心阴极等离子体化学气相沉积 #的原理!以及用 方法制备
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薄膜的工艺和实验结果$用 和 分别分析了 薄膜中 和 的成分及表面形貌!并
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得到了一定条件下的薄膜沉积速率$
关键词!空心阴极等离子体化学气相沉积% %薄膜%
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