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CoTaZr薄膜的制备及结构研究.pdf
CoTaZr薄膜的制备及结构研究/王粤等 · 91·
CoTaZr薄膜的制备及结构研究”
王粤,谢致薇,杨元政,周 林,钟焕周,吴金明
(广东工业大学材料与能源学院,广州510006)
摘要
气压、功率对CoTaZr薄膜成分、生长形貌和组织结构的影响。结果表明,溅射功率为96W时,沉积制备的薄膜成分
随Ar气压变化不大,薄膜成分基本稳定。在溅射气压为2Pa、功率为96W时,成功制备出具有非晶+纳米晶结构的
T区或1区转变。
关键词 CoTaZr薄膜磁控溅射非晶纳米晶薄膜
中图分类号:TB43 文献标识码:A
ThinFilm
ProcessandMicrostructureofCoTaZr
Deposition
WANG Huanzhou,WU
Yue,XIEZhiwei,YANG Lin,ZHONG Jinming
Yuanzheng,ZHOU
ofMaterialand of 510006)
(Faculty Energy,GuangdongUniversityTechnology,Guangzhou
thin on substrateatroom DC
AbstractTheCoTaZrfilmswere glass temperatureby magnetron
deposited
Ar and onthe andstructureof
method.Theeffectof power composition,morphology
sputtering pressuresputtering
CoTaZrthinfilmswere meansofEDS.SEMandXRD.TheresultsshoWthattherearenoobvious
investigatedby
Ar onthethinfilm at96W.CoTaZrthinfilmof
effectsofvariationsof pressure compositions
structurewas at microstructureofthinfilm turnsfromZone1or
talline 2Pa,96W.At2Pa,the
prepared gradually
TtoZone3withthe of microstructureofthinfilm turns
Zone 96W,the
increasingsputteringpower.At gradually
Ar
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