Cu-Cr纳米金属多层膜屈服强度硬度的尺寸依赖性.pdf

第2l卷第3期 中国有色金属学报 2011年3月 V01．2lNo．3 TheChineseJournalofNonferrousMetals Mar．20ll 文章编号：1004—0609(2011)03-0618—06 Cu．Cr纳米金属多层膜屈服强度／硬度的尺寸依赖性 张金钰，牛佳佳，张欣，雷诗莹，张鹏，刘刚，孙军 (西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安710049) 摘要：采用磁控溅射方法分别在聚酰亚胺基体以及单晶硅基体上制备恒定调制比(玎)以及恒定调制周期(A)的 Cu-Cr纳米金属多层膜；通过单轴拉伸试验以及纳米压痕试验系统研究Cu．Cr多层膜厢服强度及硬度的尺度依赖 及硬度随调制周期的缩短而增加；调制周期恒定的Cu．Cr多层膜的屈服强度／硬度随调制比的增加而增加。Cu-Cr 多层膜变形机制在临界调制周期n。～--25nm)和临界调制比(矿=1)由Cu层内单根位错滑移转变为负载效应。 关键词：纳米金属多层膜；强度；硬度；调制周期；调制比 中图分类号：TGll3 文献标志码：A andhardnessof Size-dependentyieldstrength metallic Cu-Crnanostructured multilayers ZHANG Xin，LEI Jun Jin—yu，NIUJia-jia，ZHANGShi·ying，ZHANGPeng，LIUGang，SUN forMechanicalBehavior KeyLaboratory ofMaterials，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’all710049，China) (State and Cu-Crnanostructuredmetallic withconstant silicon-supported Abstract：Polyimide-supported multilayers modulation constantmodulation meansofdirect ratio(呷)and periodQ)wererespectivelysynthesizedby eurrent(DC) andhardnessofCu—Cr were size·dependentyieldstrength magnetronsputtering．The multilayersrespectively uniaxialtensiletestandnanoindentationtest．Itisrevealedfromthemicrostructurethatthe investigatedby analysis onthemicrostructureofCu-Cr thatthe aretexturedinthe substrateshavenoinfluence