PECVD法制备a-Si1-xCxH薄膜的结构及光学性能研究.pdf

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 卷 第 期 /U - *X/ （ ） 年 、月 ?Q]JSVY QK $V#]]^ (#_S# VS% N#,SQYQ85 #,_SV /..U U W !#$% 法制备’()*’! #! + , 薄膜的结构 及光学性能研究 ! 张翼英 杜丕一 韩高荣 翁文剑 汪建勋 （浙江大学材料系 硅材料国家重点实验室 杭州 -*../0 ） !#$%$#’ () *+,%’ -#.+/#,/0 .1 2!,*2! 3! + 4 56,( 7,’80 -#/+#/) 9: ;72-3= ! ， ， ， 1234 5)6)34 %7 !)6) ,3 89:934 ;34 ;3=)3 3 ;34 ?)3@73 （ ， ， ， ， ， ） #$#% %’ ($)*+$#*+’ *, -.-/*0 1$#%+-$.2 3%4 $+#5%0# *, 1$#%+-$.2 /-%0/% $06 708-0%%+-08 9:%; -$08 0-=%+2-#’ $08?:*@ -*../0 A:-0$ ， ?90#% ()’# A93 B9:CD)93 3 )DE )3BF73G 93 9HD)GF H:9H:D)E 9B ’()*’! #! + , B)FCE 4:9I3 A6 JK HFEC 323G G2C)GF LH9: （ ） ， ， H9E)D)93 JK’!#$% 73: )BB:3D G93)D)93E I: ED7) I)D2 )3B:: JC3 3 7FD:L)9FD’L)E)AF EHGD:9EG9H6 M N2 H:F)C)3:6 :’ ， E7FDE E29I D2D E E)F)G93 3 G:A93 G93D3DE :G2 D2 ED9)G2)9CD:)G :D)9 )3 D2 HFEC D2 H:9AA)F)D6 9B ()’# A93 B9:CD)93 E)43)B)G3DF6 )3’ G:EE M N2 3E)D6 9B ()’# A93 )3G:EE I)D2 3 )3G:E 9B JK’H9I:， I2)G2 C6 :E7FD )3 A93 A:O)34 9B ()’, 3 #’, 3 )3 H:B:3’ ， ， D)F DG2)34 9B D2 IO A93 A6 2