Pr3+掺杂SrTiO3薄膜的聚合物前驱体法制备及发光性能.pdf

第30卷第3期 电 子 元 件 与 材 料 、，01．30NO．3 20i1年3月 ELECTRoNICCOMPoNENTSANDMATERIALS Mat．2011 崔传伟，陈磊，魏贤华 (西南科技大学四川省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地，四川绵阳621010) 手段分析了薄膜的晶体结构、表面形貌与发光性能。结果显示，退火温度决定SrTi03薄膜的晶粒大小和表面形貌， 在600℃退火2h获得的薄膜表面均匀i无裂痕，晶粒大小约为60nm，表面粗糙度约为2．5 nm。该薄膜样品的发 液基方法制备的薄膜具有优良的发光性能，有利于其在发光器件中的应用． 关键词：聚合物前驱体法；Pr3+掺杂；SrTi01；薄膜；发光 中图分类号：TM277文献标识码：A 文章编号：1001．2028(2011)03．0025．03 annd P，trr luminescence0lof SrTi011 1thin -dooed Preparationluminescen,propertiesd,ped films method synthesized bypolymericprecursor CUI Xianhua Chuanwei．CHENLei．WEI CultivationBaseforNonmetal andFunctional (StateKeyLaboratory Materials，Southwestof Composites University Scienceand 62l01 0。Sichuan Technology,MianyangProvince，China) thinfilmswere at SrTi03 fabricatedon low Abstract：P#+-doped LaNi03／Si(100)substrateannealingtemperatureby method．The and structure,surface luminescenceof thinfilms polymericprecursor crystal morphology propertiesprepared werestudied andPL．Theresults surface show sizeand thinfilmsale byXRD，AFM that，thegrain morpholo