SiO2Si衬底制备ZnO薄膜及表征.pdf

真 空 科 学 与 技 术 学 报 第 卷 第 期 $Q ( )VU （ ） 年 、月 a#bKTJ/ #c XJ,bbN !,dMT,M JTL SM,OT#/#Y2 ,OdTJ $**Q Q V !# % ! 衬底制备’# 薄膜及表征 $ ! 曹亮亮 叶志镇 张 阳 朱丽萍 张银珠 徐伟中 赵炳辉 （浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州 ()**$+ ） !#$#%’$()#(*+ *, -+. /(+ 0(123 4$’5#$’6 *+ 7(. 8 7( 79:3$#’3 $ ! ， ， ， ， ， ,-. /-’01-’0 23 4543’ 4-’0 2-’0 46 /7’0 4-’0 2’546 86 9354.’0 -’: 4-. ;’046 （ ， ， ， ， ） !#$ %$ ’#()*#)* )+ !,-,.)/ 0#$*,#-1 23$4 ,#/5 6/,7$*1, 8#/593): ()**$+ ;3,/# ;:3$#% ’ .=:3 1?@ A3B3 7B37-B3: .’ 7CDE73 ! @6F@DB-D3@ AD4 -’ -?.B74.6@ !# F63B 1-E3B FE D43 761@3: 1-@3B :37.@D.’ D34C $ ， ’G63 H ;3-6@3 . D43 !# 1-E3B AD4 404 B3@@D-’3 D43 313DB-1 33D . D43 @’013CBE@D-1 @6F@DB-D3 .’ D43 -@C0B.A’ ’# D4’ 1?@ -’ F3 $ ， ， ， 33DI31E B3:63: A43’ A3 4-B-D3B53 D43B 313DB-1 7B.73BD3@ H J@ @4.A’ FE D43 :-D- . 8KL !MN O-11 -’: P/ @73DB- D43 ’# D4’ 1? 7B37-B3: -D Q** R @4.A@ 404 BE@D-11’3 G6-1DE， 0..: 313DB-1 7B.73BD3@ -’: .7D-1 7B.73BD3@ H ， ， ， ’=*$63 ’# D4’ 1? !# % ! P61@3: 1-@3B :37.@D.’ P4.