TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法.pdf

第46卷第12期 机械工程学报 V61．46N0．12 20l0年6月 Jim． 20l0 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING DoI：10．3901／挪订E．2010．12．013 TFT．LCD Mura缺 陷机器视觉检测方法宰 毕昕 丁汉 (上海交通大学机械与动力工程学院上海200240) 摘要：针对液晶显示器(Liquidcrystal Mura 标准中Mura缺陷的测星规范和LCD视觉检测试验平台，针对Mura缺陷边缘模糊、对比度低、图像中存在重复纹理背景和 整体的亮度不均匀等特点，分别研究基于实值Gabor小波滤波的纹理背景抑制方法、基于同态变换和独立分量分析的亮度不 均匀校正方法、基于主动轮廓模型和水平集方法的缺陷分割以及基于SEMI标准的缺陷量化方法，综合几个方面的研究，建 立Mura缺陷自动检测流程。检测试验证明，所提出方法能较好地抑制纹理背景、校正背景亮度不均匀和莫尔条纹，准确的 分割缺陷并进行量化评定。该方法适用于Mura缺陷的自动检测，检测方法与人的视觉特性相似，具有较好的鲁棒性。对于 50个带有Mum缺陷的LCD样本，有48个样本被成功检测。 关键词：Mum缺陷Gabor滤波独立分量分析主动轮廓模型水平集 中图分类号：TP274．3 MachineVision MethodofMuraDefectforTFT-LCD Inspection BIXinDINGHan ofMechanical Jiao (School Engineering，ShanghaiTongUniversity,Shanghai200240) Abstract：Theautomaticmachinevision isstudiedfortheMumdefectof atthe of inspcctien importance way TFT-LCD，aiming defect andthe ofmanual in islocal variation inspection inspection shortcoming liquidcrystaldisplay(LCD)process．Muralightness withlow andtextured ontheSemiconductorandMaterials contrast，blurrycontour,imevenhrightness background．Based Equipment forMuraandtheLCD are vision International(SEMI)standardinspectionplatform,theinspectionalgorithms thetextured methodrealGabor of unevennesswith using filtering,the brightness homomorpMc backgroundsuppres