Ti-Al-V-O纳米管阵列的制备与热稳定性研究.pdf

’—r 材慧．篓苎删吣姆Ma把riaIsandStructu陀s Ti—Al—V—o纳米管阵列的制备与热稳定性研究 黎朝晖1，丁冬雁1，宁聪琴2，刘和刚1 (1．上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所，上海20()240； 2．中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室，上海 200050) 摘要：在醇基介质中采用阳极氧化方法成功在Ti6A14V合金表面制备出大面积的a和8相均为 纳米管结构阵列。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDXA)对纳米管阵列的表 面形貌、微结构和热稳定性进行了表征。实验结果表明：在醇基溶液中采用阳极氧化方法制备大 面积纳米管阵列时，外加电压的增加有利于合金表面多孔纳米结构的形成。在外加电压为30V 时，Ti6A14V合金表面的双相区均获得较为均匀的纳米管阵列。Ti—Al—V一0纳米管阵列管长约 900 nm、壁厚约7．4 nm、管径约90 nm。EDXA结果表明：在阳极氧化后，表面Al和V含量 降低。Ti—A1一V一()纳米管阵列在550℃下晶化后，其表面形貌可保持规则的纳米阵列结构，而在 更高温度下热处理可导致纳米管阵列局部坍塌并发生表面烧结致密化现象。 关键词：Ti—Al—V；阳极氧化；纳米阵列；热处理；氢传感器 FabricationandThermaI ResearchofTi—Al_V·o Stability Nanotube Arrays LiZhaohuil，Ding Dongyanl，NingCongqin2。LiuHegan91 Materi口￡s4nd Mnteri口}sScie张ce8tld ‘1．1ns￡ituceMicroe￡ec￡ronic E讥gineering， of Techno￡og，，schoo}of Sf口fP 200240，(’^i，l口；2． SIIl口打g^4i．，i口D丁Io行gU珂iw，百i￡y，S^口行g^口i KPyL以6D，。口fo，≯o厂Hig^PP，i厂dr，雄n以cP dnd l，tstitu￡e Ceramics ceramics，Chitlesescie住ces， SMperfineMicrostrt‘cture，shanghniof Ac口de竹l了of 200050，C^i，^口) S，l口以g^ni areananotubewere fabricatedonthesurfaceofTi6A14V Abstract：Large arrays successfully alloy with in The microstructure theanodizationthealcohol surface