一种制备单分散超小粒径氧化硅颗粒的新方法.pdf

第18卷第l期 功能材料与器件学报 V01．18，No．1 0FFUNC7n0NALMATERIALSANDDEVICES 2012年2月 J0uRNAL Feb．，2012 文章编号：1007—4252(2012)01—0030—05 一种制备单分散超小粒径氧化硅颗粒的新方法 张磊1’2’3，刘卫丽1”，宋志棠1’2 (1．中国科学院上海微系统与信息技术研究所， 信息功能材料国家重点实验室，纳米技术研究室，上海200050； 2．上海新安纳电子科技有限公司，上海201506；3．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要：在氨水催化水解正硅酸乙酯(TEOS)过程中，采用一种新方法制备了单分散的超小粒径氧化 硅。加入聚乙烯吡咯烷酮(PVP)能够有效的减小氧化硅颗粒的粒径大小，氧化硅粒径随着PVP的 增加而减小。通过优化工艺参数，制备得到了单分散的、粒径只有11nm的氧化硅颗粒。而且，在 相同的反应体系中，所制备的氧化硅颗粒能够作为晶种再次生长，通过滴加不同浓度的TEos能够 得到粒径大小可控的氧化硅颗粒。 关键词：单分散；超小粒径；氧化硅；PVP；TEOS 中图分类号：0648．1文献标识码：A methodto ultrannesilica AnoveI monodisperse particles prepare ZHANG Wei．1i1”，SONG Leil，2，一，UU Zhi．tan91，2 of Materialsfor of (1．State Functional I山珊atics，LaboratoryNanotechnology， KeyLaboratory S Instituteof andInf0彻ation 200050，China； hanghai Micro—system Technology；Shanghai 2． XinannaElectronic 201506，China； Shanghai TechnologyCo．，Ltd．，Shanghai the of 3． GraduateSchoolof Chinese AcademySciences，Beijing100049，China) novelmethodwas to ult珀矗nesilica ammoniaasacat- Abstract：A developedpreparemonodisperse using meansof of re— alystby hydmlysis efI．ectiVely size．Itwas thatthesizeof silica tendstodecrease ducethesilica found mono