MEMS三轴数字陀螺仪标定方法研究.pdf

2013 32 6 (Transducer and Microsystem Technologies) 年第 卷第 期 传感器与微系统 63 * MEMS 三轴数字陀螺仪标定方法研究 1，2 1 1 1 1 ， ， ， ， 彭孝 东 陈 瑜 李继宇 闫国琦 张铁民 (1． ， 510642 ;2 ． ， 110016) 华南农业大学工程学院 广东广州 机器人学国家重点实验室 辽宁沈阳 :MEMS 。 摘 要 陀螺仪作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测与导航控制中有着广泛应用 根据三轴 ， ， 、 数字陀螺仪的数学模型 设计了三轴数字陀螺仪的标定实验 介绍了数学模型中陀螺仪标度因数 安装误 。 : 、 ， 差系数以及零偏移值的计算与处理方法 理论分析与实验结果表明 该标定方法原理简单 易于实现 且 ， ， ， 标定结果精度高 标定后的解算矩阵可为后续姿态解算和导航控制提供较为准确的量测数据 同时 该标 定过程和数据处理方法对MEMS 三轴数字陀螺仪的标定具有一定的参考价值。 : ; ; ; 关键词 微机电系统 三轴陀螺仪 数学模型 标定 — — — 中图分类号:U 666． 12 文献标识码:A 文章编号:1000 9787 (2013)06 0063 03 Study on calibration method of MEMS 3-axis * digital gyroscope PENG Xiao-dong1 ，2 ，CHEN Yu1 ，LI Ji-yu1 ，YAN Guo-qi1 ，ZHANG Tie-min1 (1． College of Engineering ，South China Agricultural University ，Guangzhou 510642 ，China ; 2． State Key Laboratory of Robotics ，Shenyang 110016 ，China)