1#215;16多模干涉型GaAs光功分器的研制.pdf

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， 年 月 ， 文章编号： （ ） 多模干涉型 光功分器的研制! 马慧莲 杨建义 江晓清 王明华 （浙江大学信电系，杭州 ） 摘要： 设计并制作了一种能直接与通信用标准单模光纤阵列相耦合的 多模干涉型光功分器。其输入、输 出单模波导采用离散谱折射率法优化设计，获得了脊宽为 、脊高为 和理论传输损耗约为 ! ! 的单模脊形光波导。分析表明，这种深刻蚀多模干涉型光功分器具有较大的制作容差性、较宽的工作带宽以及几 乎可忽略的极化依赖性。测试结果表明，器件实现了 光功分器功能。 关键词： 多模干涉；光功分器；离散谱折射率法 中图分类号： 文献标识码： 引 言 全刻蚀掉，用来形成空气 波导 空气这种强限制波 导结构，这不但可以提高多模波导自镜像效应和减 高性能、集成化的光功分器是高速、大范围、多 小器件偏振依赖性，而且在输入、输出端弯曲波导设 路访问的光纤网络必不可少的重要器件。基于自镜 计时，在相同的传输损耗情况下有较小的弯曲半径， 像效应（ ）的多模干涉（ ）型光功分器具有结 ［］ 从而大大减小器件尺寸 。 构紧凑、低的插入损耗、较宽频带、制作工艺简单和 ［，］ 容差性好等优点 ，所以它有着非常广泛的应用 前景，我们正在对它进行其实用化研究。 设 计 本文设计的 多模干涉型 光功分器 的俯视图如图 所示。在所需波导结构的两边制作 了参考直波导，用作与光纤耦合时的对准标志。 本文所设计的光功分器将工作在第三通信窗 口，即工作波长 ! 。输入、输出单模波导 ! ［］ 采用离散谱折射率法 优化设计，获得了当脊宽为