SEMTEM=SPM样品制备技术.pdf

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2015-10-01 发布于重庆
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SEMTEM=SPM样品制备技术

样品制备样品制备单晶生长薄膜制备真空蒸发薄膜溅射薄膜其他薄膜薄膜生长过程物理和化学方法制备纳米材料纳米线：碳纳米管量子点 TEM样品制备 SEM样品制备 SPM样品制备表面成分分析样品制备 PDF created with pdfFactory Pro trial version 1、晶生长晶体质量：纯度、完整性、均匀性根据生长原料状态，单晶生长分为：熔融法、溶液法、汽相法、固相法 PDF created with pdfFactory Pro trial version 1.1 熔融法：优点：生长速度快、生长大晶体缺点：不适用于有固态相变材料、熔体和单晶有相同成分分为：提拉法、坩埚凝固法、无坩埚凝固法 PDF created with pdfFactory Pro trial version （a）提拉法（Czochralski (CZ) ）坩埚选择：石英（1350 C）, Pt(1600 C), Ir(2200 C) 转速：10-100 rpm, 提拉速度：1-100 mm/h，控温：0.1-0.2 C 非氧化材料可在大气环境生长，易氧化材料可通过惰性气体保护优点：无机械应力，实时监控，定向生长，短时间获得大晶体 PDF created with pdfFactory Pro trial version 适宜于提拉法生长的晶体有：半导体：Si，Ge，激光晶体: YAG ，红宝石光电晶体：LiNbO , LiTiO , PbMoO 3 3 4 沉底材料：蓝宝石等其他类似的方法：泡生法 PDF created with pdfFactory Pro trial version (b) 坩埚凝固法：优点：简单、便捷缺点：晶体畸变、多晶适用于：光学晶体CaF , LiF, 闪烁晶体NaI，多 2 元高温超导材料BSCCO等 PDF created with pdfFactory Pro trial version （c）无坩埚法适用于高熔点或与坩埚反应的材料（i）焰熔法（ii）浮区法