《《ITO镀膜玻璃的介绍》.ppt

ITO镀膜玻璃培训 TCO简介 ITO玻璃简介 ITO玻璃的基本参数 ITO玻璃的生产流程 ITO玻璃的标识 第一讲 TCO简介 TCO —Transparent Conductive Oxide 透明导电氧化物，是通过物理或者化学方法制作的导电氧化物薄膜。主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 　 导电原理： 在导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，其导电性发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。 TCO的基本要求 高的透过率——在可见光范围内T80% 高的电导率——体电阻率R 10-3 Ω·cm 常见的TCO薄膜 ① ● 透明 ● 导电 ● 易酸刻蚀 ● 耐碱腐蚀 常见的TCO薄膜 ② AZO—氧化锌铝（Aluminum zinc oxide） 常见的TCO薄膜 ③ FTO—掺氟二氧化锡 （SnO2：F ） AGC/NSG的FTO玻璃性能对比 常见的TCO薄膜 CdO — 氧化镉，有中等毒性，有致癌可能性。 GZO — 氧化锌镓，与AZO类似。 ATO — 氧化锡锑，导电性是ITO的1/6左右。 其他的透明导电薄膜 金属薄膜 — 薄的金属层（10nm以内）大多数是透明导电 薄膜，但附着力差，膜层反射和吸收大，透 过率较低。 第二讲 ITO玻璃简介 第三讲 ITO玻璃及基本参数 如何用万用表测面电阻 第四讲 ITO玻璃的制造流程 第五讲 ITO玻璃的标识 表观质量缺陷的细分研究 第三讲 ITO玻璃的基本参数 来料 清洗 接触材料 操作 镀膜 环境 检查 贮存 客户使用 污染 锡斑 锡印 发霉 纸印 油渍 胶印 轮印 辊印 手印 表观质量缺陷举例 第三讲 ITO玻璃的基本参数 铟污染 发霉 d≤0.03mm 不计 0.03d≤0.10mm 最多2个/片 d0.10mm 不允许 膜层针孔 d=(L+W)/2 6 用清洗机可以清洗干净或可用酒精擦拭干净，不计; 清洗机清洗不净或酒精擦拭不掉：不允许 污染 5 表观质量要求说明 第三讲 ITO玻璃的基本参数 30um针孔，接近在线目测的极限。因此ITO的产品质量需要制程和设备来保证。 部分生产厂家设置在线检测设备来控制（抽检）。 ITO质量对LCD质量的影响 1. 玻璃表面划伤、针孔 电极开路 2. 产品表面存在难以洗净的污迹 光刻胶涂不匀，电极开路 3. 面电阻过大 施加于液晶层的有效电压降低 4. 膜厚不匀 酸刻控制难度变大 5. 玻璃平整度不良 出现彩虹 ITO质量 LCD质量 6. 没镀SiO2膜 字肥、扩散、鬼影 7. 玻璃垂直度不良 柯式印刷PI、丝印与合盒对位困难 2-9 第三讲 ITO玻璃的基本参数 ⑥ SiO2层 第三讲 ITO玻璃的基本参数 厚度≥200A SiO2层的作用 ● 阻挡Na+离子的析出 ● 有减缓LCD制程中碱对玻璃的腐 蚀作用 可能产生的问题 ※ LCD线路扩散 ※ 鬼影 ⑦ ITO层面电阻/膜厚/透过率 第三讲 ITO玻璃的基本参数 ≤300 秒 紫色 4—5 ≥85% 2800A±200A —5 ≤250 秒 青绿色 6—7 ≥82% 2000A±150A —7 ≤200 秒 蓝色 7—10 ≥87% 1800A±100A —10 ≤120 秒 深黄色 11—15 ≥83% 1150A±100A —15 ≤120 秒 黄色 12—16 ≥82% 1000A±100A —17 ≤100 秒 亮白色 15—20 ≥81% 800A±100A —20 ≤100 秒 白色 20—25 ≥81% 750A±100A —25 ≤80 秒 / 20—30 ≥81% 700A±75A —30 ≤60 秒 / 30—40 ≥82% 450A±5