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CCD衍射成象在线精密测量细丝直径技术
第 21 卷 第 1 期 西 安 科 技 学 院 学 报 Vol. 21 No. 1
2001 年3 月 JOURNAL OF XI AN UNIVERSITY OF SCIENCE TECHNOLOGY Mar. 2001
: 1001- 12 (2001) 01- 00 0- 04
CCD
马附洲
( , 13800)
: 细丝直径的精密测量一直受到人们的广泛重视和 究, 本文提供的衍射法是一种有效
的测量方法介绍了一种采用激光单缝衍射法对细丝在线精密测量的方法和系统, 阐述了其测
量原理给出了在线精密测量中噪声的消除数据信号的快速采集以及数据的软件处理等的具
体方法
: CCD; 衍射; 细丝直径; 精密测量
: TN 24 : A
0
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CCD ,
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CCD CCD
CCD
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: 2000- 10- 29
: ( 1968- ) , , , , .
第1 期 马附洲 CCD 衍射成象在线精密测量细丝直径技术 1
X , d
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e = ∀x = f / a ( 4)
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1. 2 Fig . 1 Principle of measurement
2
Fig . 2 Measuring diagram
, CCD
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HeNe M 1, M2, ,
, ( CCD) CCD
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CCD CCD
2
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A/ D CCD ( ) , CCD
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2 西 安 科 技 学 院 学 报 2001年
, CCD CCD ,
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