InAs量子点的原子力显微镜测试结果分析.pdfVIP

　第 20 卷第 8 期 半　导　体　学　报 . 20, . 8 V o l N o 　1999 年 8 月 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S A ug. , 1999 InA s 量子点的原子力显微镜测试结果分析 龚　谦　梁基本　徐　波　丁　鼎　王占国 ( 中国科学院半导体研究所　北京　100083) 裘晓辉　商广义　白春礼 ( 中国科学院化学研究所　北京　100080) 摘要　我们利用分子束外延( ) 技术在 (001) 衬底上生长 18 个原子层的 , 形成 M BE GaA s InA s 了纳米尺寸的 InA s 量子点. 对 InA s 量子点进行原子力显微镜(A FM ) 测量, 得到了量子点的高 度和横向尺寸的统计分布以及量子点的测量形貌特征. 并且对测量结果利用简单的模型进行了 误差的分析. PACC: 6855, 6116P 1　引言 [ 1～ 5 ] 利用 生长模式生长无位错纳米尺寸的量子点成为目前的一个研究热点 . 量子 S K 点激光器的研制成功为量子点的器件应用开辟了广阔的前景. 但是, 由于量子点的尺寸极 小, 关于量子点的具体尺寸和形状的测量仍然是没有完全解决的问题. 在量子点的形貌测试 ( ) [ 6～ 9 ] [ 6 ] 中, 原子力显微镜 A FM 是广泛应用的测试手段 . L eonard 等 利用原子力显微镜测量 生长的 量子点, 并报道了量子点的形状为基底尺寸为 20 , 高为 5 的 M BE InA s GaA s nm nm 球冠. 但是,A FM 的分辨率受针尖的限制, 测量值往往大于真实值. 在对真实宽度为 2nm 的 分子的测量中, 测量值为 14 [ 10 ] , 宽度被放大了 7 倍. 对于 量子点的 DNA nm InA s GaA s A FM 测量值的误差分析还未见报道, 而测量误差分析是很有必要的, 因为这些测量值直接 [ 11 ] ( ) ( ) 影响对量子点电子能态的理论计算 . 本文利用分子束外延 在 001 衬底上 M BE