表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响.pdfVIP

维普资讯 第26卷第 2期 光 电工程 Vo1．26， No．2 1999年 4月 O—ElectronicEn~{neeri April．1999 文章编号 ：1003--50X(1999)02一∞3O—O5 表面微观形貌测量 中 0 ，， 2 ， (清华大学精密仪器系精密测试技术及 仪器 国家重点实验室，北京 100084) 摘要 ：以AFM 测量的表面微观彤貌为基础 ，采用数值仿真技 术，定量地分析先探针 直径对表面微观彤貌洲量的影响。结果表 明：评定参数 R。，R，R …R Rk以厦平均轮 廓斜率和最大轮廓斜率都随先探针直径 的增加而减小 ，尼 随先探针直径的增 大而增 TH742 中图分类号：删文献标识码：：A，^r】^^-士钾喵探≯甄杈f2境_r， Effectsof0pticaiProbeDiame证rontheM easuring／ 、 ResultsofSurfaceM icrotopography Qinghzt．aUniversity，Be啦ng100084，China Abstract：Basedonthemicrotopographyderivedfrom AFM t，thedigi talsimulationtechniqueisemployedtOquantitativelyanalyzeinfluencesofoptical probediameteronmeasurementresultsofsurfacemlcrotopography．Theresults show thatthecharacterizationparametersofR。，Rq，R，，R。，Rh，theaveragepro— fileslopeandmaximalprofileslopewillbedecreasedwhentheopticalprobediame— terisincreased．OnthecontraryRm isincreasedinthesamecaseandR willnot 收璃 日期，l907—07—05I收到修敢藕 日期：l908—04—2l 基盍珥 目 香港蒋氏工业棼善基金资助研究项 目(RC93109) 作者茼介：粱螓 (1970--)，男(汉旗)，广东肇庆^，工学博士，主要从事光学仪器、纳米干涉测量、表面傲观形虢涮量等方 面的研究． ‘ 维普资讯 ¨ ]999年4月 梁 嵘等 ：表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响 31 monotonouslyvarywithopticalprobediameter． Keywords：Profile measurement，Surfaceshape measurement，opticalprobes，Pa rameterestimation，Digitalsimulation． CLC number：TH742 引 言 表面微观形貌测量技术中，探针测量方法是一个主要的测量方法，其 中包括机械触针、光 学探针以及各种扫描探针显微镜(SPM)的探针等。虽然它们各具特点，但它们都采用非常细 的探针 以接触式或非接触式来测量表面 的微观起伏 。 就 目前技术发展水平 ，探针式微观形貌测量仪在 纵向分辨上 已达到0．1nm量级，这足以测量表面高度 极其微小的起伏 。但是 ，探针针尖半径 的大小将直接 影响到测量的横 向