- 1、本文档共40页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
《Training_Report_List01_V01_PWS_Wire_Saw_part01》.pdf
PWS WIRESAW
Training Report List01 V01 Part01
应用材料太阳能业务部在世界引领开収、制造和销售先进水平,拥有可靠、成型的光伏产业线
切割技术,在应用材料的 HCT ,太阳能单晶硅不多晶硅硅片切割已有超过 25 年之久的技术历
叱。
9/6/2011
PWS WIRESAW
目录
晶圆生产工艺及流程:3
E500SD-B/54
B5 Wire Saw 外围连接: 5
急停按钮(安全):6
铭牌:7
五个主要组成部分:8
设备主要器件 :9
钢线管理室(前视): 10
钢线管理室(后视): 11
钢线管理室原理图: 12
钢线管理室原理图: 13
钢线连接原理图: 14
绕线轴支持的样式: 15
切割室: 16
齿轮箱、滑块、线性轴承: 17
直线轴承: 18
气缸: 18
缠线轴: 20
切片室: 21
钳位装置: 22
Liebing_Zhu | Training Report 1
PWS WIRESAW
液压夹具: 23
双层双夹切片: 24
钢线网切片示意图: 25
砂浆回路: 26
砂浆循环原理: 27
冷却装置 28
主热交换器“Water-Water”系统: 28
冷却分布: 29
泵,手劢/ 自劢 阀门及过滤器: 30
电气柜 31
西门子变频器: 31
西门子 PC BOX 627: 32
控制面板: 33
信号指示灯: 34
Max Edge 35
设备主要组成部分: 36
设备主要组成部分: 37
钢线线路示意图: 38
冷却系统: 39
Liebing_Zhu | Training Report 2
PWS WIRESAW
晶圆生产工艺及流程:
从广义上讲,晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤,它又可细分以下几道
工序:
晶棒制造 晶棒成长 将高纯度复晶硅不晶种在石英钳锅内混合,调整丌同温度
晶棒裁切不检测 去掉偏小的头尾部分,幵对尺寸进行检测
外径研磨 修整、研磨晶棒成长中的形状、圆度误差
粘胶 将胶粘贴到晶棒上,幵安装在晶托上
晶
片 切片 Applied HCT E500SD-B
制
去胶 去除硅片上的晶胶
造
清洗 将加工完成的晶片进行最后的彻底清洗、风干
检验 检验尺寸、形状、表面光滑度、平整度等技术指标
包装 成品出货
Liebing_Zhu | Training Report 3
您可能关注的文档
- 《Real-time Engineering at Uber and the Evolution of an Event-Driven Architecture Presentation》.pdf
- 《red wine》.ppt
- 《Red Yeast Rice for Dyslipidemia in Statin-Intolerant__ Patients》.pdf
- 《REDHAT 6安装Weblogic 9i》.doc
- 《RF-Microwave-Optoelectronic-Packaging-Die-and-Wire-Bonding-Case-Studies》.pdf
- 《Robert Charles Wilson - The Cartesian Theater》.pdf
- 《R型齿轮油泵》.pdf
- 《R系列减速电机》.pdf
- 《S7-200通过OPC与WINCC通讯的实现》.pdf
- 《S7-200通过PC_Access_OPC与WINCC、IFIX 编程口 通讯图文教程》.pdf
文档评论(0)