单晶硅和多晶硅切割废料浆的回收.pdfVIP

第 9卷第2期 材 料 与 冶 金 学 报 V01．9No．2 2010年 6月 JournalofMaterialsandMetallurgy June2010 单晶硅和多晶硅切割废料浆的回收 邢鹏飞 ，郭 菁 ，刘 燕 ，庄艳歆 ，涂赣峰 (1．东北大学 材料与冶金学院，沈阳 110004；2．东北大学 理学院，沈阳 110004) 摘 要 ：从单晶和多晶硅切割废料浆中综合回收高纯硅、聚乙二醇和碳化硅 ，对减少环境污染、提高资源利 用率有一定意义，特别是如能将切割料浆中最有价值的高纯硅得以回收并再用于制造太阳能电池 ，这对缓解 我国太阳能多晶硅的紧缺、减少多晶硅的进 口量有重要意义和商业价值．本文简述了单晶硅和多晶硅的生产 概况及其切割工艺，重点阐述了国内外切割料浆的回收进展，综合了国内外现有的回收专利技术，将回收工 艺概括为固液分离和固体提纯两个主要步骤，并对每个步骤所采用的方法进行了归纳和分类 ，以供相关企业 参考．同时，本文也介绍了国内现有的切割料浆回收企业的概况，以及 目前从切割料浆中回收高纯硅的研究 进展 ． 关键词 ：单晶硅；多晶硅；切割料浆；碳化硅；聚乙二醇；高纯硅；回收 中图分类号：TB383 文献标识码：A 文章编号：1671-6620(2010)02-0148-04 Recoveryofslurryproduced in cuttingmono-／poly—-silicon XINGPeng-fei，GUOJing。，LIU Yan，ZHUANGYan-xin，TU Gan-feng (1．SchoolofMaterialsMetallurgy，NortheasternUniversity，Shenyang110004，China； 2．CollegeofScience，NortheasternUniversity，Shenyang110004，China) Abstract：Recovery ofhigh purity silicon，polyethylene glycoland s~con carbide from the single crystaland polycrystallines~concuttingwasteplayanimportantroleonreducingenvironmentalpoHutionandimprovingresource utilization．Especially，intheeventhathig【h—puritysilicon，themostvaluablepartin theslurry，Was recovedand madeuseofthemanufactureofsolarceUs，itwillbesignificanttoalleviatetheshortageofpoly—Silicon，andreducethe importsofpoly—silicon inChina．Inthepaper，abriefoverview ofmono-／poly—silicon production andcutting techniqueshasbeenfirstlygiven，andtherecovery techniquesoftheslurryhavebeenreviewedbasedonthehterature andpatents．Thereclamation processescould be classified into two steps，including sohd—hquid separation and purificationofthesohd．Here，themethodsusedineachstephavebeensummarized，whichcouldbecomeimportant referencetomany enterprises．M oreover，itwasgiven an overview ofdomesticrecove