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-压电式传感器.ppt
现象: 沿电轴x方向施力,在?x轴表面产生电荷?纵向压电效应; 沿力轴y方向施力,也在?x轴表面产生电荷?横向压电效应; 沿光轴z 方向施力,表面不产生电荷; 若改变受力方向,表面极性也相应改变; 分别使x、y方向都受压或受拉,极性也相反。 原因: 阻抗变换作用:高阻抗?低阻抗 放大传感器的微弱信号 其它应用 总结 例10: 压电式血压传感器 例11:指套式电子血压计 例12:水深测量仪 由于压电陶瓷元件的自振频率高, 特别适合测量变化剧烈的载荷。图中压电传感器位于车刀前部的下方, 当进行切削加工时, 切削力通过刀具传给压电传感器, 压电传感器将切削力转换为电信号输出, 记录下电信号的变化便测得切削力的变化。 * * 压电器件 受力、表面形变 电荷 §5-1 压电效应和压电材料 一、压电效应 1、正(顺)压电效应 2、逆压电效应(电致伸缩) 压电介质 正压电效应 Q(E) 电能 T(S) 机械能 逆压电效应 二、压电材料简介 压电常数 弹性常数(刚度) 介电常数 机电耦合系数 电阻 居里点 压电效应强弱:灵敏度 固有频率、动态特性 固有电容、频率下限 机电转换效率 泄漏电荷、改善低频特性 丧失压电性的温度 常用压电材料 三、石英晶体的压电特性 居里点573℃,六角晶系结构 光轴 电轴 机械轴 x轴方向受力:压力 x轴方向受力:拉力 y轴方向受力:压力 y轴方向受力:拉力 (a)正负电荷是互相平衡的,所以外部没有带电现象。 (b)在X轴方向压缩,表面A上呈现负电荷、B表面呈现正电荷。 (c)沿Y轴方向压缩,在A和B表面上分别呈现正电荷和负电荷 四、压电陶瓷的压电现象 人造多晶体:经极化处理后的人工多晶铁电体 电畴 未极化前:不具压电性 撤销外电场 加外电场 E 对外不呈极性 加力F:放电现象 取消F:充电现象 机械能 电能 正压电效应: §5-2 等效电路和测量电路 一、压电晶片的连接方式 1)并联:用于电荷作为输出量场合,有利于准静态测量。 U’=U Q’=2Q 则C’=2C 2)串联:用于电压作为输出量场合。 U’=2U Q’=Q 则C’=(1/2)C 这种联接,输出电荷大,本身电容大,允许被测对象变化频率稍低。 这种联接,输出电压大,本身电容小,要求后续电路有较大的输入阻抗。 二、压电传感器的等效电路 只适宜动态测量 压电晶片: 压电传感器: 压电传感器在实际测量系统中的等效电路 电压放大器 — 高内阻的电压源转换成低内阻的电压源 (阻抗变换器) 输出电压?输入电压 电荷放大器 — 高内阻的电荷源转换成低内阻的电压源 输出电压?输入电荷 前置放大器的作用 前置放大器 压电传感器 一般仪器 前置放大器 输出阻抗很高 输出阻抗适当降低 三、压电传感器的测量电路 1、电压放大器 前置放大器输入端电压: 前置放大器输入端电压幅值: 输入电压与作用力间的相位差: 时间常数 输入电压与作用力间的相位差: 时间常数 讨论: 适合测量高频交变力 由运算放大器构成的电压比例放大器 与电缆电容有关 2、电荷放大器 灵敏度 与电缆电容无关 上限 下限 §5-3 压电传感器的应用 例1: 压电式测力传感器 压电式三向力传感器 例2: 压电式压力传感器 注意:上盖与石英晶体间应有一定的预压力。 例3:压电引信 压电陶瓷:弹丸起爆装置——破甲弹 例4:火炮堂内压力测试 发射药在堂内燃烧形成压力完成炮弹的发射。 堂内压力的大小,不仅决定着炮弹的飞行速度,而且与火炮、弹丸的设计有着密切关系。 例5:压电式加速度传感器 —— 重块质量 —— 加速度 测量过程演示 例6:冲击试验台的标定和检测 产品过载冲击试验 跌落高度h 被冲击介质:钢、橡胶、塑料、木块 加速度 产品 例7:汽车安全气囊系统 事故性碰撞:点火信号、电点火管、气体发生剂、 气体、充气、弹性体 例8: 气体发生器输出特性测试 密封容器压力测试法 例9:振动测量仪 加速度 160 ug ~ 10 g 速度 0.4 ~ 80 cm/s 振幅 4 um ~ 8 cm 转换开关S A: V: D: 积分:振动速度、幅值 * 类 别 材 料 成 分 特 性 石英晶体 单晶体、水晶
(人造、天然) SiO2 d11=2.31×10-12C/N,
压电系数稳定,固有频率稳定
承受压力700-1000Kg/cm2 压电陶瓷 人造多晶体 钛酸钡、锆钛酸钡、铌酸盐系 压电系数高d33=190×10-11C/N
品种多、性能各异 新型压电材料 压电半导体
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