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传感器原理及应用 CCD图像传感器 3.2 光电器件-电荷耦合器件 (4)电荷耦合器信号输出 (3)电荷耦合器信号输出 二、CCD器件 实例1: 利用CCD测量几何量,CCD诞生后,首先在工业检测中制成测量长度的光电传感器,物体通过物镜在CCD光敏元上造成影像,CCD输出的脉冲表征测量工件的尺寸或缺陷; 用于传真技术,文字、图象识别。例如用CCD识别集成电路焊点图案,代替光点穿孔机的作用; 自动流水线装置,机床、自动售货机、自动监视装置、指纹机; 传感器原理及应用 CCD固态图像传感器作为摄像机或像敏器件,取代摄像装置的光学扫描系统(电子束扫描),与其它摄像器件相比,尺寸小、价廉、工作电压低、功耗小,且不需要高压; 作为机器人视觉系统; M2A摄影胶囊(Mouth anus),由发光二极管做光源,CCD做摄像机,每秒钟两次快门,信号发射到存储器,存储器取下后接入计算机将图像进行下载。 CCD传感器应用 传感器原理及应用 第3章??????光电式传感器 测量拉丝过程中丝的线径、轧钢的直径、机械加工的轴类或杆类的直径等等,这里以玻璃管直径与壁厚的测量为例。 玻璃管CCD视频信号 传感器原理及应用 第3章??????光电式传感器 由于玻璃管的透射率分布的不同,玻璃管成像 的两条暗带最外边界距离为玻璃管外径大小,中间 亮带反映了玻璃管内径大小,而暗带则是玻璃管的 壁厚像。 成像物镜的放大倍率为β,CCD相元尺寸为t, 上壁厚、下壁厚分别为n1、n2 ,外径尺寸的脉冲 数(即像元个数)为N,测量结果有: 分别为上壁厚、 下壁厚,外径尺寸。 实例2:线阵CCD进行工件尺寸测量 * 集散控制系统应用 山西工程职业技术学院 传感器原理及应用 * 传感器原理及应用 大庆石油学院 主讲人:康朝海 基于CCD光电耦器件的输入设备:数字摄像机、数字相机、平板扫描仪、指纹机 CCD结构示意图 显微镜下的MOS元表面 一、电荷耦合器件的结构和工作原理 1.基本结构 CCD基本结构分两部分: (1)MOS(金属—氧化物—半导体) 光敏元阵列; 电荷耦合器件是在半导体硅片上 制作成百上千(万)个光敏元, 一个光敏元又称一个像素,在半 导体硅平面上光敏元按线阵或面 阵有规则地排列。 (2)读出移位寄存器。 MOS电容 CCD 是由规则排列的金属—氧化物—半导体(Metal Oxide Semiconductor,MOS)电容阵列组成。 Metal Oxide Semiconductor 2. 电荷耦合器件的工作原理 CCD 光信息 电脉冲 脉冲只反映一个光敏元的受光情况 脉冲幅度的高低反映该光敏元受光照的强弱 输出脉冲的顺序可以反映一个光敏元的位置 完成图像传感 特点:以电荷作为信号 基本功能:电荷的存贮和转移 CCD基本工作原理 信号电荷的产生 信号电荷的存贮 信号电荷的传输 信号电荷的检测 光电导效应 (1)信号电荷的产生 当金属电极上加正电压时,由于电场作用,电极下P型硅区里空穴被排斥入地成耗尽区。对电子而言,是一势能很低的区域,称“势阱”。有光线入射到硅片上时,光子作用下产生电子—空穴对,空穴被电场作用排斥出耗尽区,而电子被附近势阱(俘获),此时势阱内吸的光子数与光强度成正比。 (2)信号电荷的存储 电荷存储原理动画演示 一个MOS结构元为MOS光敏元或一个像素, 把一个势阱所收集的光生电子称为一个电荷包; CCD器件内是在硅片上制作成百上千的MOS元, 每个金属电极加电压,就形成成百上千个势阱; 如果照射在这些光敏元上是一幅明暗起伏的图象,那么这些光敏元就感生出一幅与光照度响应的光生电荷图象。 这就是电荷耦合器件的光电物理效应基本原理。 电荷耦合器件的光电物理效应 读出移位寄存器 a.CCD电荷耦合器件是以电荷为信号。 b.读出移位寄存器也是MOS结构。 c.由三个十分邻近的电极组成一个耦合单元,在三个电极上分别施加脉冲波三相时钟脉冲Φ1Φ2Φ3。 (3)电荷转移原理 电荷转移原理动画演示 电荷转移原理动画演示 CCD信号电荷的输出的方式主要有电流输出、电压输出两种,以电压输出型为例:有浮置扩散放大器(FDA)、浮置栅放大器(FGA) 1、分类 CCD器件分为线阵CCD和面阵CCD,结构上有多种不同形式,如单沟道CCD、双沟道CCD、帧转移结构CCD、行间转移结构CCD。 线阵CCD结构 线阵CCD传感器是由一列MOS光敏元和一列移位寄存器并行构成。光敏元和移位寄存器之间有一个转移控制栅,1024位线阵,由1024个光敏元1024个读出移位寄存器组成。读出移位寄存器的输出端Ga一位位输出信息,这一过程是一个串行输出过程。 a.线阵型 二、CCD器件 电荷输出控制波

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