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真空管生产流程 真空管厂工艺科 2015.08.13 * 全称：全玻璃真空太阳集热管 结构及材料 内外管材料 卡子 吸气剂 真空夹层 选择性吸收涂层 吸气膜 全 玻 璃 真 空 太 阳 集 热 管 示 意 图 ： ⑦ ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ① 罩玻璃管 ② 内玻璃管 ③ 卡子 ④ 吸气剂 ⑤ 真空夹层 ⑥ 选择性吸收涂层 ⑦ 吸气膜 内外管材料：高硼硅 3.3 玻 璃 特 性 ： 具有良好的化学稳定性，抗酸碱水； 具有良好的热稳定性，膨胀系数≤3.3×10-6K 具有良好的光学性能，透光率≥ 0.89； 具有良好的机械性能。 再加工中不变色。 注：真空管可以承受φ25mm的冰雹打击。 材料：不锈钢 ； 作用：①支撑内管自由端； ②固定吸气剂。 材料：不锈钢钢环、铁柄及药粉组成， 药粉成分有Ba、Al、Ni。 类型：蒸散型吸气剂 卡 子 吸气剂 真空夹层：由内外管组成的真空夹层，压强 P 5.0E-2Pa，具有保温隔热作用。 选择性吸收涂层： 是在直流磁控溅射下得到的。 吸气膜：是由吸气剂在800 ℃以上温度下蒸 散得到的产物。 三. 工艺流程及分解说明 检验 装箱 罩玻璃 管切齐 一端烧圆头 清洗 烘干 退火 内玻璃 管切齐 一端烧圆头 退火 内玻璃管外表面沉积太阳选择性吸收表面 清洗 烘干 弹簧卡子清洗烘干 点焊成形 装配 点焊 吸气剂 罩玻璃管、吸热管和带吸气剂的卡子组装 罩玻璃管与吸热管开口端环形熔封 封离排气嘴 真空烘烤排气 环形封口端退火 蒸散吸气剂 接排 气嘴 ① 将两端参差不齐的毛管一端切齐；燎口； 原理：热胀冷缩，液体的表面张力。 ② 按要求尺寸将一端切齐口的半成品圆底； ③ 将圆好头的半成品接排气嘴； ④ 接好排气嘴半成品加工部位退火。 分解说明（一） ① 将两端参差不齐毛管一端圆头； ② 按要求尺寸去掉另一端； ③ 将圆头部位退火。 分解说明（二） 将半成品①、②进行超声波清洗,将 表面污着物清除掉,然后经过自来水 和去离子水冲洗,最后进行高温烘干 处理。 分解说明（三） ① ② 分解说明（四） ① 将烘干后内管,装配到真空室内,在真空状态下,磁控溅射镀膜,在内管外表面形成选择吸收涂层； ② 将罩管与弹簧卡子进行装配； ③ 将镀好膜内管与外管装配。 封口：将管口部位在火头上旋转，内外管烧熔后完全熔封 成为 分解说明（五） 排气 ：将封完口后的半成 品真空管在排气台抽真空加 热；将夹层气体玻璃气体经 过4000C（或430℃）高温，43（或63）分钟将夹层内气体和玻璃内气体排除后，封离为： 分解说明（六） 封离真空度为＜1.0×10-3Pa *