4.EPA防静电系统的检验.ppt

第4讲 EPA防静电系统的检验 4.1 腕带测试 戴好腕带,把插头插入标有 “WRIST CORD”标志的插孔内. 按住表面金属测试按键,保持5-10秒钟. 如果绿色 “PASS” 指示灯亮,则表示腕带功能正常. 如果红色的 “FAIL LO” 或 “FAIL HI” 指示灯亮同时伴有响声,则表明腕带功能不正常,需要立即检查. 4.2 放一只脚于底盘上,假如已铺设导电地板,那么必须抬起另外一只脚离开地板,并且确信 “WRIST CORD” 插座无插头插入. 按住表面金属测试按键,保持5-10秒钟. 如果绿色 “PASS” 指示灯亮,则表示静电鞋功能正常. 如果红色的 “FAIL LO” 或 “FAIL HI” 指示灯亮同时伴有响声,则表明静电鞋功能不正常,需要立即检查. 换另一只脚重复上述步骤. 4.3 点对点电阻测试 4.4 点对地电阻测试 注意事项 所用电极结构尺寸符合行业标准或国际标准的电极。如有争议，应采用IEC标准描述的电极。 测试点对点电阻时，应将产品（材料）放置在绝缘台面上或以实际使用状态放置。 对于工作台面测试，电极之间距离300mm。地面测试时，电极之间距离900mm。电极距被测材料边缘大于10mm。 被测电阻小于1M欧姆时，测试电压选10伏档，被测电阻大于1M欧姆时，测试电压选100伏档， 4.5 接地电阻的测量 测试步骤 ①将被测电极用导线连接仪器端子E； ②在相同直线方向20m、40m潮湿土地处，分别插入电位探测针和电流探针，各接于仪器端子P、C ③设置“倍率盘”倍数； ④自缓至快摇动仪器手柄，达到约120r/min，调整“测量标度盘”，指针指于零位时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻； ⑤测试3次，取平均值。 4.6 体积电阻率测试 注意事项 测试时，需将产品（材料）放在绝缘台面或测试架上，绝缘台面（架）的体积电阻和表面电阻要达到1 × 1013 Ω。要有足够的尺寸，避免材料部分与试验台之间相互接触。 4.7 表面电阻率测试 数据处理 注意事项 样品应标明清楚，以便鉴别被测表面。 把样品放在支架（平面）上，面朝上。 把电极组件放在样品的中心位置，或距边缘至少10mm的距离处。 给仪器施加10V电压，15秒后记录读数。如果显示的电阻值小于1.0 × 106Ω，记录该值并进行样品的测试。如果显示的电阻值大于或等于1 × 106Ω，给仪器施加100V电压测试。 对每个样品（材料），以不同点测试3次平均值为结果。 也可以用平行电极（导轨）法测试材料表面电阻率。 表面电阻率测试的平行电极法 功能:检测工作表面静电消散功能是否符合标准要求。以减少敏感元器件受到ESD破坏。 校验频率: 1次/年 操作步驟: 将测试设备置于被测材料表面 施以适当压力。 3. 按下测试按钮。 4. 进行表面电阻率检测并记录测试结果。 ESD 典型问答讲解 1、问：为什么有些ESD 地线有阻抗而有些没有呢？ 答：ESD 地线的目的是将一导电面连接到与电源地等电位的地方，“硬地”是用不具有附加电阻的地线直接连接到地的；电源地与公共点接点之间的电阻基本为0Ω。“软地”是具有内部串联电阻的地线，典型值为1M，这样设计的目的是限制当操作者暴露在110V 和最大250V的环境中时可能产生的伤害电流。ESD 联合会ANEOS/ESD S6.1—1991 建议用“硬地”方式使ESD 台面或者地板垫子接地。 2、问：我常穿一只防静电鞋，但常被告之两脚都要穿，为什么？ 答：防静电鞋仅在穿戴正确并且要与导电地板或消耗地连在一起时才起作用。行走是摩擦生电的一个极好的例子。若你正确使用防静电鞋，且与ESD 地板紧密连接，那么你身上的电荷泄入到地。因此，你与地之间构成的网络在电压上是相同的，但你一抬起穿有防静电鞋的脚，你就会再次充电，要么从你的衣服感应，要么因为摩擦和抬脚而产生摩擦电。若你穿有两只防静电鞋，你就会进一步大大减小带电量。所以建议在靠近运动物体时，务必穿一双防静电鞋。 3、问：需要在机器与地间连接1M 电阻吗？ 答：不需要。参照生产厂商在机器或设备方面接地的要求可知，1M 电阻是用于保护人体的。 注：将所有靠近ESD 敏感工作站的孤立导体接地都是有好处的。可使意外的电场或电荷积累减至最小。 4、问：1M 电阻在半导体装配过程中的作用是什么？ 答：在防静电腕、防静电鞋、拉链、地线等地方均可发现1M 串联电阻，其作用是限制可通过人体的电流量，保护人体安全。1M 电阻的主要限定要求是：在250V 交流有效值时，电流被限制到250 微安，正好是大多数人的感知水平（神经系统发生反射的临界值）。电流在体表及体内物理感知的不同取决于人体大小、重量、水份、皮肤条件等。 另一方面，如果带电器件通过人体或工作台面放电，1M 电阻也可有效