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第四编 等离子电视制造设备 第一章 第一节 湿洗装置 1.前言 最近等离子等离子电视 2.关于清洗装置的想法 2.1高吞吐率 伴随基板向大型化发展，高吞吐率是降低运行成本的最重要的项目。为实现高吞吐能力就以下项目讲述。 ①去除粒径大的微粒（10um以上）使用刷子及洗涤剂，如何提高效率是重要的。 关于洗涤剂的选择，要看微粒的性质是有机质还是无机质、附着物是化学的还是物理的、是否与电气相结合，这些方面也要鉴别选择。 例如使用由无机碱系的界面活性剂与溶剂构成的洗涤剂时,如果是清洗只是由有机质和无机质构成的微粒,其洗涤剂可以以前者为主体。即使是有机质微粒,如果是树脂系（含粘接剂）的微粒,也要选择溶剂含有量多的。并且需要设定适当的浓度温度条件。 去除物理的附着微粒时刷子最适合，特别是线径为0.15~0.2mm的尼龙刷子较好。 ②快速排掉大型基板上的清洗水，实现高处理率。 各槽使用过的清洗水/洗涤水怎样不会被带入下一工序，如何保持含微粒的洗涤水的清洁性是很重要的。为此采用使用高压缩空气的液体切割（liquid cutter）。 我公司作为别的解决方案，采用新开发出Air jet shower(A/J)。 如图1所示。此方法即纯净水→纯净水+空气（2个水流）→间歇高压缩空气的工序在数秒内重复、纯净水挨着基板的部分不会形成多余的水膜，并且有防止带入下一工序的作用。2个水流的喷头还具有气穴现象。 该法有助于提高清洗度、增加排水效果、缩短清洗装置的长度,从而实现高处理效率。 2．2 取代UV改质的等离子改质（常压）清洗装置 表面改质是重要项目、是在层压或者电阻涂敷中必须进行的。以往的依赖UV照射进行改质,今后以等离子照射(常压)主流。本公司从2001年开始开发销售常压等离子装置。其理由是运行成本低。为进行表面改质,用空气引起等离子也可以,一般需要N2、Ar、O2等气体。 即使使用价格高的气体，预计运行成本能够削减50%~70%。现在已经在LCD的前工序、后工序、模块工序、彩色过滤及OLED的制造工序或者ITO、Cr喷镀前工序开始研究采用，我认为接着将用于等离子电视工序中。 2．3 空气切割刀干燥 干燥以气割刀为主体，气割基板60英寸以上时的空气消耗量也大。工厂需要配备大容量的压缩机，增加运行成本。因此气割刀设置上下一对，空气消耗量为3000Nl/min。但是也有用高压环状鼓风机进行气割的。 需要更干燥的状态的工序中，也有在装置中加入热空气的。 图3是清洗装置的外观图。 清洗装置的分类 等离子电视制造工序中的清洗装置分前、后基板的装置，前基板的装置种类有①接纳、②厚膜印刷前、③喷镀前、④漏网印刷前；后基板有①接纳、②漏网印刷前、③层压前、④喷砂、⑤感光浆料涂敷前的装置。 按照工序不同选择清洗装置以及使用的洗涤剂，增加与含改质玻璃的粘结力，同时提高清洗能力，并且在层压时能够去掉异物突起。清洗机规格大致分为使用洗涤剂时、只用纯净水、或者干燥工序（干燥、表面改质）所需的规格。任何情况都可以将滚刷、气喷、高压水枪、等离子改质、等离子清洗、IR、CP等组合。 关于清洗漏网罩用的装置另外说明，有除去网眼堵塞物的甘油清洗剂、进行浸渍、US、涮洗、干燥的装置。 4．结束语 本章对等离子电视清洗装置的高吞吐率、装置的省空间化、新的等离子改质、等离子清洗器进行了介绍。这些都是今后有助于环保、安全的、能够降低运行成本的提案。 第二章 第一节 喷镀装置 1．前言 FPD 28英寸左右的电视称a-siTFT(LCD),36英寸以上的大型FPD称为等离子面板（等离子电视），作为民用的量产体制现在已就绪，现在各生产厂家都在积极地增加对大型高清晰度壁挂电视的设计。有关面板尺寸，不断有50~60英寸的大型面板达到实用化阶段的公布发表，如何提高发光效率、达到高清晰度、低成本，成为制造大型面板技术的重要开发课题。等离子电视制造工序中，在设备及其成膜成本中，薄膜成膜装置占有非常的地位。大型化基板对于喷镀装置的要求越来越高，下面对喷镀装置有代表性的要求列举如下：能够高速形成均匀膜质、能够安稳搬运60英寸以上的大型基板、装置的占有面积小。本节针对大型面板制造技术的薄膜成型工序中的喷镀装置进行介绍。 等离子电视用的并列式喷镀装置 这里讲述本公司的并列喷镀装置是如何适应上述要求的。 2．1 大型基板的均一高速镀膜技术 在以往的并列喷镀装置中，采用基板装在称作托架的台车上，在喷镀阴极前面以一定的速度使其通过，形成光膜的动态成膜法（旁路成膜法）。在基板通过的高度方向对膜质进行调整的话、基板的长度方面能够镀膜均匀，这种方法最适合大型基板的镀膜。 与本公司