mems工艺验系统.pdf

摘要 摘要 针对MEMS设计与加工脱节的问题，本文对MEMS工艺验证进行了研究， 旨在使MEMS设计者在在进行工艺仿真以及MEMS器件加工之前，先对版图和 工序进行可加工性验证，如果版图或工序是不可加工的，就没有必要再进行 MEMS器件工艺仿真或投入流水线加工了，从而降低了MEMS器件的加工成本， 版图验证两部分。 在MEMS工序验证方面，本文提出了基于MEMS加工状态的工序验证方法， 并将该方法与专家系统技术相结合设计实现了基于状态机的MEMS工序可加工 性验证系统。该系统首先根据特定的工艺流水线得到工艺过程的专家知识；然 后根据MEMS工序流程和专家知识利用状态机把工序可加工性验证所需的关键 状态，包括温度、当前MEMS器件的材料组成结构等进行重现，从而生成工序 对应的状态矩阵；最后由上一步得到的MEMS状态矩阵和专家知识进行推理得 到该工序可加工性判定结果。 在MEMS版图验证方面，本文采用基于布尔运算的版图验证方法设计实现 规则文件作为输入，利用LayoutEditor的图形运算模块进行版图验证，得到版图 可加工性判定结果，显示DRC错误信息，并通过图形标识出版图错误。MEMS 版图验证系统实现了常见的设计规则，如最小宽度、最小间隔、最小延伸、以 及最小重叠等，还实现了一些MEMS版图中特有的规则，如最大两端固定梁长 度，最大悬臂梁长度(单端固定)、最小梁间距、最小梁宽度等。 关键词：工序验证版图验证设计规则检查(DRC)MEMS Abstract Abstract MEMSwhichcomesfromtheserious tothebottle_neckof According problem fabrication ofMEMS is mismatchof and design technology,validationprocess inthis the simulationandmanufactureofMEMS studied process paper．Before shouldcheckthe andthe the device，the processsequenceslayoutfirsly,if designer orthe Can’tbe iSnoneedtodothe layout processsequencesmanufactured，there ofMEMS canreducethe simulationandmanufacture．Thevalidation process process manufacturecostsof the ofMEMS MEMS，and efficiency design．The improve validationofMEMS includesthevalid撕onofMEMS andthe process layout MEMS validationof sequences． process Onthevalidationof methodof validation seq