《太阳能电池硅片线锯砂浆中硅屑的回收技术研究.》.pdf

太阳能电池硅片线锯砂浆中硅屑的回收技术研究／黄美玲等 ·263· 太阳能电池硅片线锯砂浆中硅屑的回收技术研究 黄美玲，尹传强，熊裕华，魏秀琴，周浪 (南昌大学材料科学与工程学院，南昌330031) 摘要 多线切割是当前硅太阳能电池片生产的主要工艺。在线切割过程中约有1／2的晶体硅成为锯屑 进入到切割砂浆。砂浆中的各种污染物并未进入高纯硅屑晶体内部，因此可以期望通过物理分离、清洗等技术 来提取获得高纯硅粉，而不需要通过高耗能的高温化学或相变过程。综述了硅片线切割过程、硅屑形成及废砂 浆特性，评述了从线切割废砂浆中回收高纯硅粉的研究现状和进展，包括本研究组近期的研究结果。 关键词 线锯硅砂浆回收利用 of for ofSiliconSawDustsfromWire Saw DevelopmentTechnologyRecovery Slurry HUANG Yuhua，WEI Meiling，YINChuanqiang，XIONGXiuqin，ZHOULang MaterialsScienceand 330031) (Schoolof Engineering，NanchangUniversity，Nanchang AbstractMulti—wire-sawisthecurrent forthe ofsiliconwafersforsolar cutting majorprocess production the cells．AbouthalfOf siliconbecomessawdustsandaremixedinto wiresaw the iswell highpurity slurry．Assystem cooledandno thermaldiffusionoccurs，thecontaminationtOthesilicondustsiSlimitedtOitSsurface，and significant or thereforecanberemovedwithouttheneedfor chemical transformafion high-temperatureenergy-consumingphase ofthesilicondustsandcharacteristicsofthe areintroduced．Re— wire-cuttingprocess，formation slurry processes．The wire On of searchesand for and ofthe saw waste，with patentsprocessingrecovery slurry emphasisrecoveryhighpuri— silicon thelatestresultsofthe ty p