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ofaNovelRFMEMS Switch
andProcess Latching
Design
XingXianglong
ProfessorJiaoliwei
Directed Yuelm
Wang
by:Professor
Abstract
RF switchis switch
Anovel shuntMEMS presented.The
elec柱ostatic,capacitively
ofthe membraneundercritical
utilizesthe effect
buckling clamped-clamped compressive
isthatwhenthecontrol
stresstorealize function.Thestructure’scharacteristic
latching
thestateoftheswitchisnot
isremoved changed,i.e.,latching.
voltage
detailed oftheswitchis
Fimt,the designprocedure presented.Thebuckling
of membraneis element
characteristic analyzed.Finite
composite
that increases withtheincreaseof betweenthe
drivingvoltage exponentially gap
and increaseswiththeincreaseof
membraneand electrodesthat
driving drivingvoltage
50Q is andthelosscharacteristicsare
membranestress.The
coplanarwaveguidedesigned
modeloftheswitchis andthesimulation
disenssed.Theelectrical given
equivalent by
is low
ADSshowsthattheinsertionlossoftheswitch
very
andtheisolationis this
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