腐蚀工种资质培训教材.ppt

硅料表面处理培训 1.表面处理车间在公司生产中的作用? 答：硅料经过腐蚀后，可以把硅料上的金属离子、氧化物及其他无机物质和有机物质清洗干净，保证硅料在下一到工序中不受到其自身杂质的污染，从而提高硅料回收利用率。 2.硅料简介 硅：是一种化学元素，它的化学符号是Si，旧称矽（xi）。 原子序数14，相对原子质量28.09，同素异型体有无定形硅和结晶硅。 属于元素周期表上ⅣA族的类金属元素。硅在自然界分布极广，地壳 中约含27.6%。 晶体硅为钢灰色，无定形硅为黑色，密度2.4g/cm3，熔点1420℃，沸 点2355 ℃ ，晶体硅属于原子晶体，硬而有光泽，有半导体性质。在 高温下能与氧气等多种元素化合，不溶于水，硝酸和盐酸，溶于氢氟 酸和碱液。在常温下，化学性质非常稳定，除氟化氢以外，很难与其 他物质发生反应。 头尾料分类 头尾料原料中，通常含有杂质，如：小料、脏料、碎粉、垃圾等，除去上述硅料我们对头尾料进行如下分类： 来源——自产料、外买料 阻态——高阻、重掺、局部重掺 生产来料——边皮料、头尾料、头尾片、碎晶棒、 吊肩料等 极性——P型、N型、P/N混合型 头尾料分类介绍 边皮料：切方过程中产生的废硅料。 头尾料：切断过程中产生的废硅料。 头尾片：切片过程中产生的废硅料。 头尾料：切断过程中产生的废硅料。 碎晶棒：报废的单晶硅棒敲碎的硅料。 吊肩料：拉晶过程中，未充分融化而报废的硅料 脏料：含有石英，石墨等杂物的硅料 小料：直径小于10mm的碎硅片 碎粉：直径小于3mm的硅料 可循环使用作为单晶生产原料。这种硅料多含有石英、石墨、石墨杂质，直径小于10mm的埚底料称为埚底小料或埚底料颗粒。 按硅料来源、阻态、极性对埚底料进行如下分类： 阻态：高阻、重掺、局部重掺 极性：P型、N型、P/N混合型 3.相关化学品安全知识 氢氟酸：对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白，坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼Ｘ线异常与工业性氟病少见。 1.硅料部酸洗操作规范 ⑴、将片状硅料碎料，碎硅片不能有超过整片1/4（防止 叠片，影响酸洗效果）； ⑵、用刀片划开块状原生硅包装袋，观察是否存在体积过 大不便酸洗的原生硅，使用榔头将其砸碎； ⑶、将同一批次的大料与小料分开装入Φ30×16.5H(mm) 聚丙烯花篮； ⑷、装料时，大料不能超过花篮体积的2/3、片料、小料 不能超过花篮体积的1/3； ⑸、大料的碎粉和颗粒硅料必须用细眼花篮装料，避免硅 料的流失； ⑹、边皮料使用500L×360W×270H（mm）的专用花篮 装料，装料量不得 超过花篮体积的1/3； ⑺、将有裂纹的块状料挑出，戴上护具（面罩、双层劳保 手套）从裂纹处敲碎，以防酸渍残留裂缝； 根据不同硅料、季节、温度的变化调节腐蚀液的配比（具体如下），用5000毫升的塑料量杯量取酸液，倒入580L×390W×230H（mm）的酸洗槽，混酸倒入不宜过多（不超过45升，边皮料不超过40升），以防酸液洗硅料时溢出。并将混酸搅拌均匀，准备酸洗硅料。 A、块状料：HF（电子级氢氟酸）:HNO3（电子级硝酸） =1:3～1:10（体积比） 推荐比例（夏天1：8 春秋天1：6 冬天1：4） 边皮料推荐比例：（夏天1：10 春秋天1：8 冬天1：6） B、片状料（IC级碎硅片，循环利用单晶、多晶氧碳含量测试片）、小料（粒径5mm至10mm）：HF（电子级氢氟酸）:HNO3（电子级硝酸）=1:10～1:20（体积比） 推荐比例（夏天1：18 春秋天1：15 冬天1：10） C、碎粉（粒径小于5mm）：采用浸泡工艺 HF（电子级氢氟酸） 浸泡12-24小时 D、籽晶（抛光过）：HF（电子级氢氟酸）:HNO3（电子级硝酸）=1:4～1:10（体积比） E、外观无杂质干净自产单、多晶碎硅片： HF（电子级氢氟酸）：H2O（电子级高纯水）=1：2～1：4（体积比） 将装有硅料的花篮迅速放入酸洗槽中，动作不宜过大以防酸液溅出； 在酸洗硅料过程中，操作人员使用Φ