电子工业污染物排放标准半导体器件编制说明-中华人民.PDF

附件七： 电子工业污染物排放标准 半导体器件 编 制 说 明 （征求意见稿） 《电子工业污染物排放标准 半导体器件》编制组 二00八年六月 目 录 1.项目由来 1 2.标准制订的必要性 1 2.1 半导体产业是国家和上海市地方重点发展的产业1 2.2 我国缺乏半导体行业的国家排放标准 2 3.标准制订的原则与依据 2 4.我国半导体行业现状与发展趋势预测 3 5.标准适用范围 7 6.半导体生产工艺及污染控制技术调查分析 8 6.1 半导体生产工艺 8 6.2 产污分析 9 6.3 污染控制技术调查分析 15 7.国外半导体行业污染物排放标准 20 7.1 美国半导体行业污染物排放标准 20 7.2 德国半导体元件生产废水排放标准 22 7.3 世界银行污染预防和削减手册的相关标准 23 7.4 台湾半导体制造业空气污染管制及排放标准 24 8 标准制订 25 8.1 标准制订的基本思路25 8.2 执行时间段划分 25 8.3 排放因子及控制指标的选择 26 8.4 标准值的形式 27 8.5 标准值的确定 28 9.标准实施的管理措施 34 10.标准可行性分析 35 10.1 经济可行性分析 35 10.2 技术可行性分析 37 10.3 环境效益分析 37 10.4 本标准与 GB 8978-1996 和GB 16297-1996 的比较 38 I 电子工业污染物排放标准 半导体器件 编 制 说 明 1.项目由来 根据国家环境保护总局对环境排放标准的改革思路，今后将逐步淡化大气和污水综合排放标 准的作用，而是根据各行业不同的污染排放特点制订符合行业特性的排放标准；同时，为便于标 准的实施，行业排放标准将综合水、气、噪声、固废等方面的污染物排放成为一个标准。 从国家经济发展、工业布局和产业导向的变化来看，信息产业将是未来重点发展的行业之一。 其中，半导体行业作为信息产业的基础，将会有迅猛的发展。而随着该行业的快速发展，其对环 境的影响及压力势必有所增加。 2005 年 8 月 21 日，国家环保总局下发文（环办函【2005】86），组织开展电子工业污染物 排放标准的制定工作。该系列标准共分为 6 个标准，分别针对电子原件、半导体器件、真空器件、 店主终端产品、电子零部件及废旧电子产品与电子残次品处理与处置技术规范。 2.标准制订的必要性 2.1 半导体产业是国家和上海市地方重点发展的产业 半导体产品可大致划分为三大类：分立器件、集成电路与光电组件，其中集成电路就占了半 导体近九成的比重，可谓半导体产业的重心所在。党的十六大报告提出“优先发展信息产业，在 经济和社会领域广泛应用信息技术。积极发展对经济增长有突破性重大带动作用的高新技术产 业。”集成电路作为信息产业的基础和高新技术产业的核心，已被列为“十五”计划重点发展的 领域。2002年6月国务院18号文《鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》的颁布，其中 明确提出“通过政策引导，鼓励资金、人才等资源投向软件产业和集成电路产业，进一步促进我 国信息产业快速发展，力争到2010年使我国软件产业研究开发和生产能力达到或接近国际先进水 平”、“鼓励境内外企业在中国境内设立合资和独资的集成电路生产企业”。18号文为集成电路产 业的发展创造了良好的政策环境。国家计委、财政部、信息产业部、国家税务总局、海关总署等 相关政府部门为落实国务院18号文件，在集成电路领域相继颁发了若干具体实施文件，主要有： 1）财政部、国家税务总局的《关于进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展税收政策的通知》； 2）财政部的《关于部分集成电路生产企业进口自用生产用生产性原材料、消耗品税收政策的通 知》；3）财政部的《关于部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的