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设备模块化培训资料 　　　　　 －真空系统 培训基本内容 目录 真空定义与分类 　　●真空的定义 1标准大气压：在标准重力加速度g为980.665厘米/秒2，温度T为273K　　　　　　　　　时，760毫米高的汞柱所施加的压强。 真空是指压强低于1标准大气压的气态空间。 1atm=760Torr=1.013×105Pa 1Torr＝7.5×10－3Pa 1Pa＝1N/m2=133.3Torr １bar=0.1MPa≈1个标准大气压 1atm的气态空间，气体分子的浓度为：2.69×1019个/cm3，随着压强的下降，空间气体分子的浓度不断下降，气态分子呈现出不同的物理现象，通常把压强小于1大气压的真空空间称为真空。真空按如右区域划分： 真空定义与分类 系统结构： 抽风主管 抽风副管 调节阀 负压压力表 湿制程设备抽风系统 湿制程设备抽风系统 湿制程设备抽风系统 湿制程设备抽风系统 抽风系统常见故障 　　（１）主管连接处松动------原因多为螺丝松动或变形-------重新更换或上进螺丝即可 　　（２）副管连接处裂开------原因多为管子接口处焊接老化-----重新焊接 　　 湿制程设备抽风系统 抽风软管接口松动或老化裂开（上紧固定环螺丝或更换新管即可） 设施抽风 扩散工序平面图 抽风管路 故障分析及解决方法 PC机 PLC 　　　　　　　　 罗茨泵 干式泵 　　　　　　　　　　 角阀 　　　　　　　　　 储能罐 设施抽风 　　　　　　　　 　　　　　　　　　 电气控制框图 真空气路流向图 干式泵（GV600）／罗茨泵（EH4200） 角阀 真空仪表 储能罐 电气电路—真空泵— 电气电路—角阀— 电气电路－真空仪表－ 电气电路－真空仪表－ 设施抽风 常见故障处理 3、气路图 4、元器件介绍 5、常见故障的处理(丝网) THANK YOU ！ 三.PECVD 工序 ＰＣ机 ＰＬＣ 真空泵站 腔体真空表 变频器 １ ２ １路为ＰＣ腔，２路为ＬＣ／ＵＣ腔 罗茨泵 干式泵 角阀 腔体 Scrubber 气体流向 真空管路进气 真空管路出气 冷却水出口 密封吹扫进口 冷却水进口 稀释吹扫 真空进气口 干式泵 罗茨泵 罗茨泵 干式泵 干式泵气路系统作用：１轴密封吹扫，２稀释吹扫． 压缩气体进口 压缩气体出口 控制线 活塞位置指示 真空管路接口 控制线控制着角阀内部的电磁阀，来实现角阀真空管路的开与闭．活塞位置指示用于当角阀真空管路打开时指示是可见的，关闭时则不可见． 角阀 量程： PKR251: 精度： ＭＫＳ－Baratron: 量程： 精度（％）： ＴＰＲ 储能罐是用来对腔体内气体进行预抽，以缩短腔体抽真空时间． 储能罐 工艺腔真空泵电路 上下料腔真空泵电路 角阀电路图 PC—MKS电路 PC－ＰＫＲ电路 ＵＣ－ＴＰＲ ＬＣ－ＴＰＲ Scrubber排风 热排风 特气柜排风 清理密封圈 Y N 泵检修 检修变频器,电气连接线 检修ＰＬＣ模拟量模块,与真空仪表的电气连线 Ｙ 检修真空仪表 腔体密封OK? 腔体真空度不能达到工艺要求 真空泵密封OK? Y 变频器引起的故障 N Y Y PLC引起的故障 解决故障 N N 丝网工序负压（抽风）系统结构 四. 丝网 工序 2、简介 丝网印刷设备的真空控制主要在以下三个方面： 1、上料台吸片 2、旋转台面 3、翻转机构 旋转台面 翻转机构 上料吸片 上料吸片 真空管路 旋转台面 真空管路 破真空 翻转机构 真空管路 电磁阀 真空管路 破真空 印刷台抽风 烘箱抽风 CDA表 真空表 故障报警信息 Insufficient main vacuum 检查真空总管的压力是否足够和稳定，有异常联系设施 第一 第二 第三 检查设备下方主真空管附近的压力表数值 ，正常工作需要 -700 mbar 的压力 检查真空压力传感器， 显示0时表示真空压力不足 ，否则应为1 旋转台面真空异常 检查真空总管的压力是否足够和稳定，有异常联系设施 检查管路/台面是否有破损，有则更换，没有则更换电磁阀 将片子放于台面上，手