有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共84页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
蚀刻制程设备
蝕刻設備
吳志偉
國立海洋大學機械與輪機工程學系
Tel ：0224 Email ：cwwu@.tw
蝕刻簡介
蝕刻製程乃是將經過微影製程在表面定義出圖
案的晶圓， 以化學腐蝕反應的方式，或物理
撞擊的方式，或上述兩種方式的合成效果，去
除整面或部份材質，留下所要的結構。蝕刻技
術主要分成兩大類：濕式蝕刻法與乾式蝕刻法
.tw/ICFA
B_CLASSROOM/MULTI_M
EDIA/index.htm
蝕刻形狀的分類
一般蝕刻結構的形狀可
分為均向性（isotropic ）
與異向性（anisotropic ）
兩種，其蝕刻形成的形
狀如圖所示。均向性蝕
刻表示橫向和縱向之蝕
刻率相同，異向性蝕刻
的橫向性蝕刻率則為0
。一般的蝕刻形狀介於
此兩種蝕刻類型之間。
.tw/ICFAB_CLASSROOM/MULTI_MEDIA/index.htm
蝕刻方式的分類
濕蝕刻
等向性
非等向性
乾蝕刻
離子轟擊
電漿反應
Colorado University, M. Adrian Michalicek
)ihsoyihsoT ihsoriH .forp alcu :feR(
向
方
格
晶
濕式蝕刻(Wet etching) .tw/ICFA
B_CLASSROOM/MULTI_M
EDIA/index.htm
利用合適的化學溶液，先將
未被覆蓋的部份材質分解，
然後轉成可溶於此溶液的化
合物，而達到去除的目的。
藉由化學溶液的選取與調配
，得到適當的蝕刻速率，以
及欲蝕刻材料對下層材質的
)
良好蝕刻選擇比。這種完全 i
h
s
o
利用化學反應的方法來進行 y
i
h
s
蝕刻的技術有其先天上的缺
文档评论（0）