SJ_T3328.1-2015电子产品用高纯石英砂第1部分技术条件.DOC

ICS 31.030 L90 备案号： S J 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 SJ/T 3328.1—XXXX 代替 SJ 3228.1-1989 电子产品用高纯石英砂 第 1 部分 技术条 件 High purity arenaceous quartz for used in electronics part 1 specification （报批稿） 供审查用 XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施 中 华 人 民 共 和 国 工 业 和 信 息 化 部 发 布  SJ/T XXXXX.1—XXXX 前言 本系列标准计划分下列部分出版： ——SJ/T 3228.1 电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件； ——SJ/T 3228.2 电子产品用高纯石英砂 第2部分 分析方法通则； ——SJ/T 3228.3 电子产品用高纯石英砂 第3部分 灼烧失量的测定； ——SJ/T 3228.4 电子产品用高纯石英砂 第4部分 二氧化硅的测定： ——SJ/T 3228.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定； ——SJ/T 3228.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定； ——SJ/T 3228.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分 铬的测定； ——SJ/T 3228.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分 铝的测定； ——SJ/T 3228.10 电子产品用高纯石英砂 第10部分 铅的测定。 本部分为第1部分。 本部分按照GB/T 1.1-2009《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》给出的规则编写。 本部分代替SJ 3228.1-1989。 本部分与SJ 3228.1-1989相比，主要技术内容变化如下： a）增加了引用文件： GB/T 6682《分析实验室用水规格和试验方法》、GB/T 602 《化学试剂 杂 质测定用标准溶液的准备》、SJ/T10380-2012《工业用酸洗石英砂》、GB/T XXXXX 电感耦合等离 子质谱法检测石英砂中痕量元素、GB/T 8946《塑料编织袋》、GB/T 8947《复合塑料编织袋》； b）修改了产品分级，将原来的二个等级修改为三个等级； c）修改了粒度范围； d）杂质含量要求中增加了元素铝、钙、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰含量项目，删除了铅含 量、氯含量、灼烧失重，并修改了原有杂质元素含量技术指标； e）增加了附录A《石墨炉原子吸收光谱法测定杂质元素含量》； f）调整了检验规则和标志、包装、运输、贮存的相关要求。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。 本部分起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中 心、东海县产品质量监督检验所。 本部分主要起草人：李运强、程尚栩、许振午、栾振祥、薄雷明、李建德、冯亚彬、管琪。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为： ——SJ 3228.1-1989。 I  SJ/T XXXXX.1—XXXX 电子产品用高纯石英砂 第 1 部分 技术条件 1 范围 本部分规定了电子产品用高纯石英砂的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存 等。 本部分适用于电子产品用高纯石英砂，可用于制造半导体石英器件的管、棒、块、板、片以及坩埚 等器件。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 8946 塑料编织袋 GB/T 8947 复合塑料编织袋 GB/T XXXXX 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素 SJ/T 3328.4 电子产品用高纯石英砂 第4部分 二氧化硅的测定 SJ/T 3328.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定 SJ/T 3328.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定 SJ/T 3328.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分 铬的测定 SJ/T 3328.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分 铝的测定 SJ/T 3328.10 电子产品用高纯石英砂 第10部分 铅的测定 SJ/T 10380 工业用酸洗石英砂 3 技术要求 3.1 外观 电子产品用高纯石英砂为具有一定透明度的白色颗粒，应无异色、肉眼可见的杂质。 3.2 二氧化硅含量 二氧化硅含量应符合表 1 规定。 表 1 二氧化硅含量 项 目 指 标 一级 二级 三级 二氧化硅 ≥99．9991% ≥ 99.9990% ≥9