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《BMS500B型超高真空磁控溅射设备技术方案》.pdf
真空鍍膜製程設備與技術--
先進表面工程科技
表面工程研究中心
明道大學
2009/11
Turn key solution from MDU
Turn key solution from MDU
表面工程研究中心優勢
• 完整真空電漿製程技術所涵蓋之研究、教學、諮
詢與生產能量
• 電腦化真空製程設備之研製能力
• 超過五位以上之專家教授具有十年以上之工業與
研究經驗
技術轉移
• 真空技術與電漿製程
• 硬質鍍膜技術與功能性鍍膜方案
• 真空鍍膜設備與生產線規劃
先進真空鍍膜技術
機械加工產業關鍵技術
提昇機械性質硬度( ..)
關鍵機械零組件保護
切削刀具與成型模具
半導體與光電薄膜
無污染之綠色生產製
程與產品
先進真空鍍膜技術
Why coating?
高科技製程技術與高附加價值產品
Antireflex Coatings Main Application Fields of Coatings
Decorative Wear Protection
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先進真空鍍膜技術
利用高能量電漿快速製備各式先進真空鍍膜
表面工程研究中心專家成員
• 汪大永校長/教授
專長:陰極電弧沈積薄膜 ; 非平衡磁控濺射鍍膜
• 張奇龍副教授
專長:奈米薄膜沉積技術 ; 真空鍍膜系統設計
• 何偉友副教授
專長:表面工程 ; 熱處理; 功能性薄膜技術
• 翁克偉副教授
專長:離子植入技術 ; 非平衡磁控濺射鍍膜
• 張銀祐副教授
專長:硬質鍍膜技術 ;陰極電弧沈積技術; 薄膜
分析;真空鍍膜系統設計
• 侯永豐經理
• 吳文雄工程師
• 林孟春工程師
表面工程研究中心儀器設施
• 各式真空鍍膜與電漿製程設備 實驗 / 生產型工廠(多年
經驗自製研究型設備)
• 高階薄膜分析儀器 高解析電子顯微鏡( ,高解析X 光繞射
儀 …)
表面工程研究中心研究成果與能量
製程技術
• 符合產業應用需求之硬質薄膜製程技術與
產品(2008/1~2009/9年共發表超過40篇國
際技術文獻~國內領先地位 )
DLC, Ti1-xAx lN… TiN
The general purpose coating for:
- cutting and forming tools
- injection molding and dies
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