3.155j6.152j课件22流体实验测试.pdf

3.155J/6.152J 课件 22: 流体实验测试 Prof. Martin A. Schmidt 麻省理工学院 12/ 1/2003 通知 ?测验 ?周三, Dec. 3, 堂测试 ?闭卷 涉及10/15到11/26的课件 不包括实验课件 ?需要的话,提供一张公式表 th ? 星期一, Dec. 8 的上 内容 ?MEMS模拟装置的介绍 ?我们将在下午2:35下 ? 这节 后的 程评价 秋季课程 2003 M.A. Schmidt 3.155J/6.152J 课件 22 幻灯片 2 大纲 ?工艺和测试的回顾 ?应用流体学 ?纳维-斯托克斯方程的解答 ?扩散问题的解答 ?实验报告的指导 ?参考文献 ? Senturia, 微观 统设计, Kluwer ? 6.021 关于微射控技术实验的网页 ? Plummer, Ch 7, p.382-384 秋季课程 2003 M.A. Schmidt 3.155J/6.152J 课件 22 幻灯片 3 工艺流程-综述 未曝光的 SU-8 (100 µm) 表面处理 casting PDMS 光刻 紫外光 掩模板 从原图除去弹性体master 显影 等离子体处理和插入管后,密封 原图” 管 们的工艺 在此处被改 变 秋季课程 2003 M.A . Schmidt 3.155J/6.152J 课件 22 幻灯片 4 混合器 宽度 = 250Pm, 500 Pm 深度 = 100 Pm 入口管长度 = 25 mm 出口管长度 = 35 mm 提供图像: Prof . D . Freeman 秋季课程 2003 M.A. Schmidt 3.155J/6.152J 课件 22 幻灯片 5 封装/测试 提供图像: Prof