无尘车间培训教材讲解.ppt

无尘车间培训教材 洁净室之定义 洁净室(Clean?Room),也称为无尘室。? 　 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。? 　　因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要求。?? 相关术语 悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在0.1～5μm 之间。 洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区分空间洁净程度的标准。 气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。 风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。 洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。 高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。 超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.2μm 粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。 洁净度等级标准 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年） 感性认知 感性认知 洁净室之分类(按形式） 洁净室设计基础 洁净室设计基础 送风量及FFU数量计算 1.洁净室的新鲜送风量应取以下两项中的最大值: a.补偿室内排风量和保证室内正压值所需空气量之和Q1; b.保证洁净室工作人员所需足够的新鲜空气量Q2(依据洁净厂房设计规范每人每小时新风量不小于40m3); Q=Max(Q1Q2)或 Q=Max( Q1Q2 )+ Q泄漏量 Q泄漏量=μA(ΔP)0.5 μ-泄漏系数,A-泄漏面积, ΔP-压差; 2.FFU数量=QS/QFFU额定风量, QS=V*ACH (V-房间体积;ACH-换气次数.) 滤网的使用寿命 当过滤网达到额定容尘量的时候即需要更换. T=P/N1*10-3Qtη T-过滤器使用寿命；（d） P-过滤器容尘量;(g) N1-过滤器前空气含尘浓度;(mg/m3) Q-过滤器的风量;(m3/h) t- 过滤器一天的工作时间;(h) η- 计算过滤器的计重效率. 洁净室管控手段 面积m2 洁净度级别 1000 10 000 100 000 〈10 2～3 2 2 ≥10～ 〈20 4 2 2 ≥20～〈40 8 2 2 ≥40～〈100 16 4 2 ≥100～〈200 40 10 3 ≥200～〈400 80 20 6 ≥400～〈1000 160 40 13 ≥1000 ～〈2000 400 100 32 2000 800 200