第二篇电子探针显微分析精要.ppt

College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 X射线能谱图上，峰位表示X射线的能量，峰高则反映X射线的强度。 根据峰位（特征X射线的能量）可以检测出试样中存在何种元素，即进行化学成分定性分析。 根据峰的高度（特征X射线的强度）可对试样中的元素进行定量和半定量分析。 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 11.4 波谱仪与能谱仪的比较 和波谱仪相比，能谱仪具有以下几方面的优点： (1) 能谱仪探测X射线的效率高。 因为Si(Li)探头可以安放在比较接近样品的位置，因此它对X射线源所张的立体角很大；此外，X射线信号直接由探头收集，不必通过分光晶体衍射，不存在衍射导致的强度损失。Si(Li)晶体对X射线的检测率极高，因此能谱仪的探测效率比波谱仪高。 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 (2) 能谱仪分析速度快。 能谱仪可在同一时间内对分析点内所有元素的X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内就可以得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素的特征波长。 (3) 能谱仪的结构比波谱仪简单。 能谱仪没有机械传动部分，因此稳定性和重复性都很好。 (4) 能谱仪对样品的要求比波谱仪更低。 能谱仪不必聚焦，因此对样品表面没有特殊要求，适合于粗糙表面的分析工作。 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 但是，和波谱仪相比，能谱仪存在以下不足： (1) 能谱仪的分辨率比波谱仪低。 波谱仪的分辨率较高，约5~10 eV；而能谱仪的分辨率较低，在145~155 eV左右，能谱仪给出的波峰比较宽，容易重叠。 (2) 能谱仪可分析的元素范围比波谱仪窄。(波谱仪可以分析4Be~92U，能谱仪可分析11Na~92U ) 能谱仪Si(Li) 检测器的Be窗口限制了超轻元素特征X射线的测量，只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可以测定原子序数从4到92之间的所有元素。 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 (3) 能谱仪的谱失真比波谱仪更严重。 波谱仪不存在谱失真的问题；能谱仪造成谱失真的因素较多，如峰重叠、电子束散射等。 因此，能谱仪的探测极限（谱仪能测出的元素的最小百分浓度）要比波谱仪低。波谱仪的探测极限约0.01~0.1%，能谱仪的探测根极限为0.1~0.5%。 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 College of MSE, CQU * 能谱仪和波谱仪特性对比 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法 电子探针显微分析 11.5 电子探针的基本功能 电子探针X射线波谱及能谱分析有以下三种基本的工作方法： (1) 点分析 (2) 线分析 (3) 面分析 College of MSE, CQU * 材料现代测试方法