扫描电镜及能谱培训讲座教案解析.ppt

SEM Lab Training02 操作规程简介 操作流程简介 不同方向的不同关注 工作条件 室温：15℃~25℃ 湿度：≤70% 形貌分析步骤 选择信号SEI或者BEC 扫描1聚焦，更高倍聚焦。 扫描2移动，寻找目标。移动有三种方式 扫描3检查，看有没有问题。 定格，保存，取消，下一个。 能谱分析 一般能谱步骤 元素面分布扫描（面扫描）步骤 元素线分布扫描（线扫描）步骤 ！注意 不是我们教的方法，而在我们的设备上使用的。若有万一，后果自负。 有好的方法可以跟我们交流，好的方法我们会推荐给大家。 例如 线扫描步骤 CPS5000,Amp time=25.6 Map/line 选择感兴趣的元素和区域,collect image 点掉“live”，点上“quant”,可以选择数据类型 划线 Collect line 保存 Display line scan data image?show image ?save 不同方向的不同关注 形貌 相 能谱 形貌 例1 能谱 前面的工作做好（样品放对，图像找好，目标找准）——45% 理解原理，选好工作条件——45% 大胆怀疑和尝试——10% 简言之 了解SEM两种信号和能谱的能力 了解关注的重点，以选择合适的工作条件 了解关注对象 多尝试 可以上机了吗？？ 最重要的——安全注意事项 谢谢！ 相 例2 2026 例5 汽车板 两种信号结合来确定“是相还是缝？” * 开机顺序 装(换)样顺序 配电箱电源 循环（冷却）水 SEM主机（钥匙） (10秒)SEM电脑 EDAX分析器 能谱电脑 SEM主程序 能谱主程序 能谱分析 Vent 装样（换样） Eavc Ready 2min后开“HT” 形貌分析 关“HT” 一切复位 等够2min 关机顺序 关高压 复位并等够2min 关能谱主程序 关能谱电脑 关EDAX分析器 Vent并取出样品台 Evac到Ready 关SEM主程序 关SEM电脑 关SEM主机 等15~30min 关配电箱电源 关循环水开关 SEI 30 20KV 30 50~60 0 0 原始值 信号种类 样品高度 加速电压 束斑 Z T R SEM各参数初始值（复位） 一般能谱步骤 CPS=1200~3000,DT%=10~40,Amp time=51.2或102.4 Collect image Clear spectrum 或者“雷达” Star/stop EDS collection 或者“秒表” Lsec =20~50s后，“秒表” HPD或者直接Q，看“绿色线”和“峰位”啮合是否完美 W 保存 “EXT/XY” 下一个样 面扫描步骤 CPS5000,Amp time=25.6 Map/line 选择感兴趣的元素和区域,collect image 点掉“quant”，点上“live”(还有全谱面扫，需2h以上) Collect maps 保存 File?print 纯铝阳极氧化S2006C6 选择条件： 喷金 光栅2 无其他要求 海水腐蚀的铝青铜 外委阳极氧化Al合金缺陷 工作条件： 5KV 光栅3 SS=20 1005断口 *