沉积气压对类金刚石薄膜结构和性能的影响.pdfVIP

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2016-05-08 发布于安徽
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43 卷 6 期红外与激光工程 2014 年6 月 Vol.43 No.6 Infrared and Laser Engineering Jun.2014 沉积气压对类金刚石薄膜结构和性能的影响 1,2 1 2 凌晓，俞树荣，张俊彦 (1. 兰州理工大学石油化工学院，甘肃兰州 730050 ； 2. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州 730000) 摘要以纯甲烷为反应气体，采用等离子增强化学气相沉积技术通过改变沉积气压在 316L 不锈钢表面制备了一系列的类金刚石薄膜。薄膜结构、机械性能和摩学性能分别通过拉曼光谱仪(Raman)、纳米压痕仪(Nano indententor 域) 和往复球盘摩擦磨损试验仪获得。研究结果表明，随着沉积气压从 7 Pa 增加到 15 Pa ，薄膜的sp3 含量和机械性能明显增加，而摩学性能显著降低。随着沉积气压从 3 15 Pa 增加到 31 Pa ，薄膜的sp 含量和机械性能明显降低，而摩学性能却显著增加。；关键词类金刚石碳薄膜沉积气压；结构；性能中图分类号 TH117.3 文献标志码 A 文章编号 1007-2276 (2014) 06-1878-05 Influence of working pressure on structure and properties of diamond鄄like carbon films 1,2 1 2 Ling Xiao , Yu Shurong , Zhang Junyan (1. School of Petrochemical Technology , Lanzhou University of Technology , Lanzhou 730050 , China; 2. State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics , Chinese Academy of Science , Lanzhou 730000 , China) Abstract: The diamond like carbon (DLC) films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) with CH4 as the gas at different working