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43 卷 5 期 红外与激光工程 2014 年5 月
Vol.43 No.5 Infrared and Laser Engineering May 2014
基于 MEMS 技术的柔性多触点深部脑刺激电极研制
1,2 2 1 2
张 磊 ，李璟文 ，周 望 ，王守岩
（1. 苏州大学 现代光学技术研究所 江苏省先进光学制造技术重点实验室 教育部/ 江苏省现代光学
技术重点实验室，江苏苏州 215006 ；
2. 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，江苏苏州 215163 ）
摘 要 深部脑刺激可以有效治疗帕金森病、癫痫、抑郁等疾病。深部脑刺激电极是深部脑刺激系统
中的重要组成部分，传统的四触点电极由于通道少，触点面积大，分辨率低，容易刺激不必要的区域
从而引起副作用。为提高深部脑刺激的分辨率和精度，设计了一种具有24 个触点的深部脑刺激电极，
并利用微机电系统制作技术制作出柔性电极。该柔性电极基底材料为生物相容性良好的聚一氯对二
甲苯（Parylene C ），导电材料为金。电极触点和焊点均为285 滋m伊1 500 滋m ，连接焊点和触点的连接线
宽为50 滋m 。初步电学测试表明，电极具有良好的低阻抗电学性能。使用多触点电极可减小触点尺
寸，提高刺激的分辨率，改善脑刺激电极在临床中的治疗效果。
关键词 柔性电极； 深部脑刺激； 柔性基底； 微机电加工
中图分类号 TP212.3 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2014)05-1517-05
Design and fabrication of flexible multi-contacts deep brain
stimulation electrode based on MEMS technology
1,2 2 1 2
Zhang Lei , Li Jingwen , Zhou Wang , Wang Shouyan
(1. Key Lab of Advanced Optical Manufacturing Technologies of Jiangsu Province and Key Lab of Modern Optical Technologies
of Education Ministry of China , Institute of Modern Optical Technologies , Soochow University , Suzhou 215006, China;
2. Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology , Chinese Academy of Sciences , Suzhou 215163, China)
Abstract: Deep brain stimulation (DBS) is effective for treating some diseases, such as epilepsy,
Parkinsons disease or depression. DBS electrode is a key part of a DBS system. The current DBS
electrode has four
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