基于频域数字散斑相关方法的面内微位移测量.pdfVIP

第 卷第 期 年 月 43 4 红外与激光工程 2014 4 Vol.43 No.4 Infrared and Laser Engineering Apr.2014 基于频域数字散斑相关方法的面内微位移测量 杨 宇航 ，陈 宇，李 鹤 ，王文生 ( 长春理 工大学 现代光 学测试技 术研 究室 ，吉林 长春 130022) 摘 要： 使 用传统数字散斑相关方法对物体面 内微 小位移进行测量时， 由于受到噪声影响和算法本身的 局限，会 出现测量精度低 、数据处理速度慢等 问题 。 针对以上缺点，应用频域数 字散斑相关方法，通过散斑 记录和 MATLAB 软件编程 ，实现 了物体面 内微 小位移的测量。 这种方法不但 弥补 了传统数字散斑相关方 法的不足之处，而且 简化 了一般光学测量过程 中的反复调校过程 。 理论分析及 实验结果表 明，应用频域数 字散斑相关方法测微位移的 系统结构 简单、处理速度快、精度 高，能够达到微米级 ，相对误差小于 1%。 关键词： 数字散斑相关； 频域 ； 面 内微位移 ； MATLAB 编程 ； Vander-Lugt 相关器 中图分类号： TN247 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014)04- 1301-05 In-plane micro-displacement measurement based on digital speckle correlation method in frequency domain Yang Yuhang, Chen Yu , Li He, Wang Wensheng (Laboratory of Contemporary Optical Measure Technology , Changchun University of Science and Technology , Changchun 130022 , China) Abstract : When using traditional digital speckle correlation method to measure in -place micro - displacement , the noise and algorithm defects will cause low accuracy or slow data processing . In order to solve these problems, digital speckle correlation method in frequency domain is applied . In -plane micro -displacement measurement has been realized by speckle recording and MATLAB software programming . This method is not only making up for the inadequacies of traditional digital speckle correlation method but also simplif