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第 卷第 期 年 月 43 10 红外与激光工程 2014 10 Vol.43 No.10 Infrared and Laser Engineering Oct.2014 一种新结构介观压光型微加速度计 彭 鹏 1 ，3 ，温廷敦 1 ，2 ，3 ，许 丽萍 1 ( 1. 中北大学 理 学院 ，山西 太原 030051 ； 2 . 中北大学 微 米纳米技 术研 究 中心 ，山西 太原 030051 ； 3 . 中北大学 电子测试技 术 国家重点 实验 室 ，山西 太原 030051) 摘 要： 对镜像异质三周期光子 晶体 的研 究理论表 明 ，在 实际应 用范 围 内，透射 率与光子 晶体 所 受的 轴 向应 力呈 简单 的线性 关 系。 据此 ，设 计一种 能 实现微 梁直拉 直压 的加速度 计 ，微 梁很 小很敏 感 ，处 于轴 向直拉 直压位置 时 ，能极 大提 高结构 的灵敏度和 自由振动频 率 。以镜像异质三光子 晶体替代 以往 的压敏 电阻，只需检 测其透射 率 ，即可得 出加速度 大小。 最后 结果表 明 ：当透射 光 强改变 1酃 时 ，该 结 构可 以感知 小于 0 .4 mgn 的加速度 的变化 ，测量量程 可达 3 .2 gn 。 关键词： 光子 晶体 ； 透射 率 ； 加速度计 ； 直拉 直压 ； 灵敏度 中图分类号： V241.4 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014) 10-3363-05 A new structure accelerometer based on Meso鄄Piezoptic Peng Peng1,3 , Wen Tingdun1,2,3 , Xu Liping1 ( 1. Department of Physics, North University of China , Taiyuan 030051, China ; 2 . The Center of Micro/Nano Technology , North University of China , Taiyuan 030051, China ; 3 . National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology , North University of China , Taiyuan 030051, China) Abstract : Theoretical study about mirror shows, in application range, transmissivity has a simple linear relationship with the axial stress to photonic crystal . Accordingly , a new structure accelerometer with axially deformed tiny beams was designed . Tiny beams are sensitive,