1064nm、532nm、355nm波长脉冲激光辐照多晶硅损伤特性的研究.pdfVIP

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2016-05-08 发布于安徽
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1064nm、532nm、355nm波长脉冲激光辐照多晶硅损伤特性的研究.pdf

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第44 卷第2 期红外与激光工程 2015 年2 月 Vol.44 No.2 Infrared and Laser Engineering Feb.2015 1 064 nm 尧532 nm 尧355 nm 波长脉冲激光辐照多晶硅损伤特性研究 1,2,3 2 1 4,2 3 2 2 2 2 冯爱新，庄绪华，薛伟，韩振春，孙铁囤，陈风国，钟国旗，印成，何叶 (1. 温州大学机电工程学院，浙江温州325035 ；2. 江苏大学机械工程学院，江苏镇江212012 ； 3. 常州亿晶光电科技有限公司,江苏常州 213200 ；4. 江苏锐成机械有限公司，江苏无锡 214206) 摘要为系统研究不同波长激光与多晶硅材料的相互作用，采用1 064 nm 、532 nm、355 nm 波长单脉冲激光对多晶硅进行辐照实验，研究多晶硅在这三种波长激光下的损伤形态。实验结果表明：在其他参数不变的情况下，损伤阈值随激光波长的减小而变小，且与波长呈线性关系；在低能量密度水平，，其他波长为光热下 355 nm 激光与物质作用主要是以光化学模型为主的光化学-光热共同作用方式模型；在激光能量密度处于低水平时，辐照域出现相互连接的规则六边形微结构，并且六边形中心呈现圆形凸起状态，其产生是由液体横向流动的波动本质造成的，并与多晶硅表面的粗度有关。关键词波长；多晶硅；损伤阈值；微结构中图分类号 TN249 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2015) 02-0461-05 Damage characteristics of polysilicon under wavelengths of 1 064 nm, 532 nm and 355 nm laser irradiation 1,2,3 2 1 4,2 3 2 Feng Aixin , Zhuang Xuhua , Xue Wei , Han Zhenchun , Sun Tietun , Cheng Fengguo , 2 2 2 Zhong Guoqi , Yin Cheng , He Ye (1. College of Mechanical and Electrical Engineering , Wenzhou University , Wenzhou 325035, China 曰