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地址:深圳宝安沙井新发东路 12 号众恒信达工业区 E-mail:marktong@
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投入基板
根据在 指定模型名称及基板大小 过程中登记的基板大小值,自动调整输送器幅度,调整完成后将对象基板投
入输送器。
图 4-14 投入基板过程画面
扫描图片
下图是提示扫描图片过程的引导窗口,点击 【下一步 】按钮。子画面中显示在摄像头下依次进行的扫描过程,完
成扫描过程后合成子画面的扫描影像并自动获取基板影像。
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图 4-15 扫描图片过程画面
• 扫描图片的目的
① 获取能够表示基板FOV/Frame位置的背景影像。
② 合成用于离线状态的扫描影像,获取用于离线状态的影像。
• 扫描影像的文件位置
获取的扫描影像位于 “Opsys/ Models/ 模型名称/ Image” 下。
图 4-16 数据的位置和文件形式
文件形式以“SCAN____ .jpg”格式保存,文件内容包含基板影像信息。离线状态下移动数据时,移动代表图片文件的B
oardImg.jpg和全部基板扫描图片。
位置校正标记Teaching
下图是提示位置校正标记登记过程的引导窗口。完成位置校正登记后,点击
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