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放 电 过 程 电 子 密 度 计算条件：电压 100 V，真空压强 1 Torr ，10个循环 离 子 密 度 放 电 过 程 电 势 分 布 计算条件：电压 100 V，真空压强 1 Torr ，10个循环 电 场 强 度 (df/dx) 放 电 过 程 电 离 率 放 电 过 程 电 子 密 度 计算条件：电压 100 V，2个循环 0.1 Torr 1 Torr 10 Torr 放 电 过 程 离 子 密 度 计算条件：电压 100 V，2个循环 0.1 Torr 1 Torr 10 Torr 放 电 过 程 电 场 强 度 计算条件：电压 100 V，2个循环 0.1 Torr 1 Torr 10 Torr 放 电 过 程 电 离 率 计算条件：电压 100 V，2个循环 0.1 Torr 1 Torr 10 Torr 放 电 过 程 （2D） 一维仿真扩展成二维仿真非常容易 放 电 过 程（2D） 电 子 密 度 离 子 密 度 放 电 过 程（2D） 电 场 强 度 (df/dx) 电 离 率 场 激 发 ZnO纳米线作为阴极 圆形金质电极 尖端处场增强 场激发 Fowler-Nordhiem方程 用于等离子显示、电子显微镜 Department of Electrical and Computer Engineering Concordia University, Canada 场增强（电场强度） 纳米线尖端结构 普通平板结构 尖端处的场增强 延纳米线轴向不同位置处的场强 纳米线尖端结构 普通平板结构 场增强（电场能量） 电场能量密度 电场能量 场 激 发 （电流密度） 基于Fowler-Nordhiem方程 电 晕 放 电 ZnO纳米线作为阳极 不会发生场激发 尖端处场增强依然存在 低电压条件下，尖端处气体被电离 用于传感 基于纳米线阵列的气体传感器 不同气体、浓度对应不同的放电电流 输 运 沉 积 过 程 实 验 结 果 空 间 非 均 匀 性 沉积速率的非均匀性 薄膜成分的非均匀性 输 运 过 程 输 运 过 程 边 界 条 件 依赖于粘附概率b b = 0 （不能做沉积体） 绝缘/对称 b 0 （可以做沉积体） Flux = -b_Si2OMe3*c_Si2OMe3*(Rg*T_gas)^0.5/(2p*M_Si2OMe3)^0.5 b 输 运 过 程 粘 附 概 率 的 影 响 输 运 过 程 流 向 衬 底 的 通 量 Si2OMe3：Me3-Si-O-Si- Si2OMe3：-Si-O-Si- 输 运 过 程 薄膜组成成分的变化可以定量地描述 流 向 衬 底 的 通 量 网站 电子教室 BBS QQ群 Yahoo邮件组 RSS COMSOL技术支持：/rss/feeds/support.rss 中仿科技：/rss.xml 中仿科技知识库：/faq.xml 推 荐 学 习 资 源 中仿科技 CnTech Co.,Ltd http://www.CnT/ 全国客服统一热线 400 888 5100 中仿科技(CnTech)是中国区领先的仿真分析软件和项目咨询解决方案的供应商 感谢您参加COMSOL Multiphysics AC/DC数值模拟研讨会 * * 通用软件平台+但是 我们有专业应用模块 材料库 由材料库合作伙伴为matweb matweb网站可以直接生成comsol材料文件 与CAD无缝集成 工具箱可以耦合到COMSOL里 * 公司介绍 美国+瑞典+芬兰 研发 给客户一个全球公司概念 * COMSOL Multiphysics AC/DC、传热数值模拟研讨会 安 琳 博士 高级技术工程师 Lynn@ 电机电磁场 电机电磁仿真 传热、共轭传热 电机电磁场与传热耦合 等离子体 介质阻挡放电 电晕放电 等离子体控制（沉积） License: 5FFAF3-TYUS-091118-1058190-684959980 什么是仿真？ 仿真技术 一种运用相似性原理和类比关系研究事物的技术方法 仿真过程 建立真实世界系统的模型 缩小的实体模型：小型反应器、缩微模型等 数学模型：描述变量在空间、时间上变化的偏微分方程/组 在模型上进行实验和研究，实现优化设计和预测等 仿真方法 实验 计算机模拟 多物理场任意耦合 多维度之间进行耦合 多尺度之间进行耦合 专业软件中预置的应用模式不满足要求 求解域发生变形 参数随时间或解发生变化 特殊的后处理需求 二次开发 …… 这些棘手问题遇到过吗？ COMSOL Multiphysics全球第一款真正的多物理场耦合分