SCU400多晶炉维修与维护规范SB-SOP-007.doc

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2016-05-20 发布于湖北
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立丰实业（昱辉）项目部 SCU400多晶炉维修与维护规范 SCU400多晶炉维修与维护规范版本：1.0 起草人：审核人：替代版本：批准人：批准日期：生效日期：分发部门：立丰实业昱辉项目部 1目的：：多晶炉进出水阀及进水温度压力表。进水压力范围5.0Kg=进水压力=5.5Kg 进水温度31℃±0.5℃ 真空泵真空泵油位应在视窗三分之二以上，真空泵工作时进出水阀需全部开启。氩气储罐氩气罐是否有足够的氩气存量（≥1000Kp）氩气压力≥6Bar。 8.附表 7.1维护保养实施记录表。 7.2设备履历卡。 7.3巡检表。 SB-SOP-007 版本号：1.0 页码：1/ 9 SB-SOP-007 SCU400多晶炉维修与维护规范河南立丰实业有限公司昱辉项目部 1/9 温度表进水阀出水阀进水压力表水泵控制柜风机控制柜真空泵冷却水进出阀油位视镜氩气容量氩气压力表 2#阀 1#阀 3#阀 4#阀