l李晓康07高纯多晶硅制备中的改良西门子法详解.doc

项 目 课 程 说 明 书 题目：光伏材料生产工艺流程设计（项目课程） 二级学院 新能源科学与工程学院 学 号 1303210007 学生姓名 李晓康 指导教师 胡云 教师职称 讲师 学 号 1303210007 学生姓名 李晓康 专业（班级） 13材料物理 设计题目 高纯多晶硅制备中的改良西门子法 设 计 技 术 参 数 按照所查阅的相关文献，撰写一篇学术论文，5000字数左右，格式应满足主流期刊所发表论文的格式（包括中文题目，作者，作者通讯单位，中文摘要，中文关键词，英文题目，英文作者，英文通讯单位，英文摘要，英文关键词，正文，结论，参考文献）。论文摘要应该在200字左右，文中涉及图表按顺序标出，参考文献必须标至相应引文中。文中字母、数字采用Times New Roman字体、 项目课程学术论文撰写符合规范，层次清楚，叙述文笔流畅，论文内容充实，论据充分。 自我讲述条理清晰，重点突出，表现出良好的语言表达和组织能力；答辩思路清晰，反应敏捷，回答问题正确，知识面较宽。 工 作 量 有关改良西门子法制备高纯多晶硅生产工艺流程的学术论文一篇 用AutoCAD和手绘出改良西门子法生产工艺流程图 3、项目课程任务答辩 工 作 计 划 项目实施时间 内容 课时 地点 描述项目任务 3 胡云 主A2 查阅相关资料 了解改良西门子法制备多晶硅工艺流程一，并用AutoCAD绘制流程图一 3 胡云 主A2 了解改良西门子法制备多晶硅工艺流程二，并用AutoCAD绘制流程图二 6 胡云 主A2主A2 2015-7-6 项目报告撰写 3 胡云 主A2 2015-7-7 项目报告撰写改良西门子法制备多晶硅工艺流程总图 3 胡云 主A2主A2 2015-7-9 撰写学术论文现场指导 3 胡云 主A2 2015-7-10 上交学术论文和论文答辩 3 胡云 主A2 小计 36 参 考 资 料 【1】樊舜尧，师文林.多晶硅生产技术及发展现状[[J].新材料产业，2010(10): 22-26 【2】司恭.改良西门子工艺生产多品硅的安全问题[[J].安全，2010,2, I 6-19 【3】侯彦青，谢刚，陶东平，俞小花，田林，杨妮.太阳能级多晶硅生产工艺，月.材料导报，2010, 24 C 7:3135 【4】张愿成，张澄清，郭飞，等.锌还原四氯化硅制备多晶硅技术的国内外进展「月.新材料产业，2010(02) : 4851 【5】侯彦青，谢刚，陶东平等.太阳能级多晶硅生产技术[[J]，材料导报，2010 24: 31-34. 指导教师签字 教研室主任签字 说明：此表一式叁份，学生、指导教师、二级学院各一份。 年 月 日 新余学院项目课程评审意见表 指导教师评语： 成绩： 指导教师： 年 月 日 答辩小组评语： 成绩： 评阅人： 年 月 日 项目课程总成绩： 答辩小组成员签字： 年 月 日 高纯多晶硅制备中的改良西门子法 摘 要：本文主要叙述了高纯多晶硅的各种制备方法，有西门子法、改良西门子法、流化床法、冶金法、硅烷热分解法、碳热还原法等其他制备高纯多晶硅的工艺。其中重点介绍了现在普遍都使用，技术相对成熟的改良西门子法。本文简要叙述改良西门子法从三氯氢硅制备、三氯氢硅提纯、三氯氢硅还原及四氯化硅尾气的处理方法。通过本文可以较为详细的了解用改良西门子法去制备高纯多晶硅，改良西门子法的发展状况。 关键词: 高纯多晶硅；改良西门子法；三氯氢硅 Improved SIEMENS method in the preparation of high purity poly-crystalline silicon Abstract: This paper mainly describes the various preparation methods of high-purity polyclinic, Siemens method, modified Siemens method, fluidity bed method, metallurgy, saline thermal decomposition, carbon thermal reduction method and other preparation of high purity polyclinic process. Which focuses on